供給弁・破壊弁の組合わせ(R) 自己保持・破壊弁連動
真空(V)ポートΦ8
圧力センサ/真空用圧力スイッチ仕様真空用デジタル圧力スイッチ；圧力範囲-100〜100；NPN2出力SI単位固定
供給弁/破壊弁/真空用圧力スイッチコネクタ仕様供給弁・破壊弁用コネクタ:集合配線仕様コネクタ付リード線なし；圧力スイッチ・センサ用コネクタ付リード線付
オプションa：ポンプシステムPEポートめねじ仕様、b：オプションなし、c：マニホールド共通破壊圧力供給仕様
定格電圧(V)(5) DC24
システム・ボディ形式(Q) 真空ポンプシステム/マニホールド用
