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小型ダイヤフラム真空ポンプ

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内容量1台タイプ汎用型注文コード37437635 品番FV-30-110

参考基準価格(税別)￥26,960 販売価格(税込) ￥28,578

販売価格(税別)

￥25,980

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特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。
クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。

消費電力(W)5 吸引圧(kPa)-54(400mmHg)以下流量(L/min)2.5 タイプ汎用型質量(kg)0.8 用途フロロメカニック社製ウエハー搬送用ピンセット専用の真空ポンプ。幅(mm)137 高さ(mm)85 奥行(mm)88 定格電圧(V)AC100 使用限界温度(℃)40 騒音値(dB(A))(50/60Hz)0 耐久性耐久時間/9000時間以上

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