検出距離(mm)E3X-ZV/GIGA:1280、HS:450、ST:680、SHS:200
E3NX-FA/GIGA:1920、HS:670、ST:1020、SHS:200
種別ウエハマッピング用種類ファイバユニットタイプビーム強化/狭視界検出方式透過形センサー-ヘッド形状円仕様フリーカット可能長さ(mm)-形状厚み2mm幅(mm)-サイズ-質量(g)40(梱包状態)保護構造IP50シリーズE32ケーブル長(m)2使用温度(℃)-40~70方向(検出)サイドビュー標準検出物体(mm)-材質(ヘッド)SUS303引張強度(N)9.8最小検出物体Φ0.1/Φ0.03mm許容曲げ半径(mm)R10材質(ファイバ)-曲げ半径(mm)10動作温度(℃)-特性-光ファイバ-材質(コア)プラスチック締め付け強度(N・m)0.29開口角(°)3.4検出幅(mm)-光軸径(Φmm)1.2ターミナルタイプ-被覆材ポリエチレン使用周囲湿度(%RH)-