バルブ KCD4MSシリーズ

「KCD」シリーズは、「KD」シリーズをベースとして更なるコンパクト化を図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。基本性能は最高機種の「KD」シリーズを全て受け継いだハイスペックバルブです。KDシリーズの内容積1.2cm³(1/4"CVCオスOpen時)に対し、「KCD」シリーズは0.97cm³まで小さくする事に成功しました。品種を1/4"サイズに限定しKDシリーズと同じデザインを持ちながら外観サイズを約20%縮小、重量も軽くなりました。耐久性能を落すことなく、自動弁400万回(実績値)、手動弁10万回(実績値)を実現しております。最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。