XY直交度(mm)0.02
ストローク(X距離)(mm)±7.5
ストローク(Y距離)(mm)±7.5
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)78.4
送り方式CMH-15F(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
操作位置センター
質量(kg)0.85
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
