XY直交度(mm)0.02ストローク(X距離)(mm)±7.5ストローク(Y距離)(mm)±7.5種類xyステージテーブル長さ(mm)90テーブル幅(mm)90耐荷重(N)78.4送り方式CMH-15F(標準マイクロメータ)移動ガイドV溝とクロスローラ操作位置サイド質量(kg)0.85感度0.003mmクランプ板クランプ目量マイクロメータ式0.01mm材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003移動量(ツマミ1回転)0.5mm