ストローク(Z距離)(mm)±6.5
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)49
送り方式送りねじP=0.5mm
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
感度0.01mm
クランプ板クランプ
操作位置サイド
質量(kg)0.3
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム、(Zブラケット)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
垂直度(mm)0.065、運動の垂直度：0.025
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
