気体用マスフローメータ：CMSシリーズ

窒素、空気、酸素、アルゴン、炭酸ガス(CO2)、都市ガス(13A)、メタン100%、プロパン100%、ブタン100%
ただし、腐食成分(塩素、硫黄、酸など)を含まない乾燥気体であること。
また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること