注意
※ビーム径: 測定範囲の最小径の値(実力値)で、中心光強度の1/e(2 13.5%)で定義しています。定義域外に漏れ光があり、対象物の周囲が対象物に比べて反射率が高い場合、誤検出する場合があります。また、ビーム径より小さいワークを検出する場合は、正しい計測値が得られない場合があります。
※分解能 : 形ZX2-LDAに接続した場合のアナログ出力のゆらぎの幅(±3σ)を示します。(形ZX2-LDAの応答時間を128msに設定し、メーカー標準対象物(拡散反射形:白セラミック、正反射形:1/4λ平面ミラー)を中心距離とした場合の測定値を示します。)ワークが静止状態の繰り返し精度を示すもので、距離精度を示すものではありません。強い電磁界内では、分解能の性能が満足できない場合があります。
※リニアリティ:メーカー標準対象物測定時における変位出力の理想直線に対する誤差を示します。対象物によって、直線性や測定値が変わることがあります。F.S.とは測定範囲の全範囲を示します。(形ZX2-LD50(L):20mm)
※温度特性:センサヘッドとメーカー標準対象物の間をアルミの治具で固定した場合の値です。(測定中心距離で測定)