ストローク(Z距離)(mm)±50
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)100
テーブル幅(mm)100
耐荷重(N)(水平)98
送り方式研削ねじ・リード1mm
移動ガイドリニアガイド
質量(kg)6.8
材質(本体)アルミ合金
モーター5相ステッピングモータ/PK566-B(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°，リード線10本)
分解能(フル/ハーフステップ)2μm/1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.1μm
仕上白色
センサー型式F-104(INDEX，LIMIT)， F-105(HOME)
コネクタ角形20ピン(ヒロセ： PC-1620， P-1620A-STA)
繰返し精密度(μm)≦±0.5
最大速度(mm/sec)10
結線X1
ロストモーション(mm)≦0.02
垂直度(μm)≦10/100mm
