ストローク(Z距離)(mm)±50種類Zステージテーブル長さ(mm)100テーブル幅(mm)100耐荷重(N)(水平)98送り方式研削ねじ・リード1mm移動ガイドリニアガイド質量(kg)6.8材質(本体)アルミ合金モーター5相ステッピングモータ/PK566-B(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°，リード線10本)分解能(フル/ハーフステップ)2μm/1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.1μm仕上白色センサー型式F-104(INDEX，LIMIT)， F-105(HOME)コネクタ角形20ピン(ヒロセ： PC-1620， P-1620A-STA)繰返し精密度(μm)≦±0.5最大速度(mm/sec)10結線X1ロストモーション(mm)≦0.02垂直度(μm)≦10/100mm
