ストローク(Z距離)(mm)±25
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)160
テーブル幅(mm)160
耐荷重(N)(水平)490
送り方式1/40-ウォーム・ボールねじ・リード4mm
移動ガイド四面フラットローラガイド
質量(kg)14.5
材質(本体)アルミ合金
モーター5相ステッピングモータ(オリエンタルモーター：PK545-B)定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°
分解能(フル/ハーフステップ)0.2μm/0.1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.01μm
仕上黒色
コネクタ角形20ピン(ヒロセ： PC-1620， P-1620A-STA)
繰返し精密度(μm)≦±0.5
最大速度(mm/sec)1
結線JH / 原点復帰の際に領域(データム)センサを利用しています。CW側常時遮光。
ロストモーション(mm)≦0.02
垂直度(μm)≦8/50mm
