ストローク(Z距離)(mm)±25種類Zステージテーブル長さ(mm)160テーブル幅(mm)160耐荷重(N)(水平)490送り方式1/40-ウォーム・ボールねじ・リード4mm移動ガイド四面フラットローラガイド質量(kg)14.5材質(本体)アルミ合金モーター5相ステッピングモータ(オリエンタルモーター：PK545-B)定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°分解能(フル/ハーフステップ)0.2μm/0.1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.01μm仕上黒色コネクタ角形20ピン(ヒロセ： PC-1620， P-1620A-STA)繰返し精密度(μm)≦±0.5最大速度(mm/sec)1結線JH / 原点復帰の際に領域(データム)センサを利用しています。CW側常時遮光。ロストモーション(mm)≦0.02垂直度(μm)≦8/50mm
