ストローク(X距離)(mm)±5ストローク(Y距離)(mm)±5種類xyステージ/傾斜ステージテーブル長さ(mm)130テーブル幅(mm)130耐荷重(N)(水平)196送り方式ボールねじ・リード1mm移動ガイドXY：クロスローラ・θ：クロスローラベアリング質量(kg)4材質(本体)アルミ合金モーター5相ステッピングモータ/PK513PB(オリエンタルモーター：定格電流0.35A/相，基本ステップ角0.72°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)XY：2μm/1μm、θ： 0.001348°/0.000674°仕上白色センサー型式XYθ：F-115(HOME， LIMIT)コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)真直度(μm)(水平)XY：≦ 1/10mm、(垂直)XY：≦ 1/10mm繰返し精密度(μm)XY：≦±0.5結線V2バックラッシュXY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002最高速度(mm/s)XY：10mm/sec ： Half 10kpps θ：6.74°/sec ： Half 10kpps移動量(°)±5ロストモーション(°)θ：≦ 0.005モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.1
