・クリーン環境内での低発塵搬送。 ・シリンダチューブ外周面の非接触構造およびステンレス製リニアガイド(特殊処理)により、高いクリーン度を実現。 ・12-CY3B(メーカー従来品)と比べ、真空引きなしでも発塵量を1/20に低減。
