・電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。・最高供給圧力:5.0MPa・設定圧力範囲:0.01~3.0MPa・最大流量:3000L/min(ANR)・使用流体:空気,N2,O2,Ar・接流体部:フッ素系グリース使用。