ガスの種類Air
サイズ160×33.6×105mm
継手1/4in.SWL相当
再現性±0.2%FS
通信方式アナログ0〜5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0〜5VDC)
流量制御範囲5〜100%FS
流量精度±2%FS(精度保証範囲15〜35℃)
表面処理機械加工仕上げ
流体気体
バルブ形式N/O ノーマルオープン
応答性6sec
駆動源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
使用周囲温度(℃)5〜50 85%RH以下
仕様ガス：Air 外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム 耐圧：1MPa(G) 動作圧力範囲：50〜300kPa 流量(SLM)：50
アズワン品番3-8035-01
