3点表示・真空用超小型シール 真空用・世界最小 ラベルの端から示温素子まで1mm。ウェハ・エッジの温度を測ることが出来る プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます) カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮 貼り付け精度向上 すべてのレンジにカプトンフィルム使用
