オプション[1]デバイスネット通信[2]NPT継手[3]DI制御キット[4]循環液自動回収機能
寸法(mm)外観:380×870×950
質量(kg)175±5(乾燥質量)
タイプポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ、循環液:エチレングリコール液
適合規格SEMI,CE/UKCA,UL
チャンネル数1チャンネル
電源電圧(V)3相AC200/200〜208±10%(50/60Hz)
冷却方式水冷冷凍式
使用冷媒R744(CO2,GWP:1)
温度制御方式PID制御
設定温度範囲-20〜90℃
冷却能力(kW)10
RoHS指令(10物質対応)対応