熱による影響は小さく、周波数安定性は高い。
成膜中の温度特性に優れる
レート安定性が良いので、より長い時間使用可能
シャッタ開閉時のふらつきや変化(熱衝撃の変化)が小さい
水晶板の入替作業時間を大幅に短縮
CRTMシリーズでの基本性能は確認済み
輻射熱による周波数変化で、成膜中の温度特性に優れています。シャッタ開閉時のふらつきや熱衝撃の変化が小さく、レート安定性も良いので長寿命。マルチセンサ(CRTS-12NS)対応の専用ケースにより、水晶板1枚ずつの取り出しの他、工具を使わずに12枚を即座に交換する事が可能です(特許6802937号)。
