材質本体:C3771B、ダイアフラム:NBR、弁材:PCTFE、その他:C3604B・SUS304
質量(kg)1.7
電源(V)AC100(電源コード長さ3m)
最大流量(L/min)40(P2=0.3MPa)
使用温度(℃)ー10〜100(設定温度:ー10〜100)
接続入口:W22-14(山)袋ナット(P当り)、出口:M16×1.5(右)オネジ(Φ8ホース口付)
使用ガスMAG
一次側圧力(MPa)2〜15
二次側圧力計(MPa)0.6
ヒーター容量(W)190(電流値1.9A)(190×1本)
二次側圧力(MPa)0.1〜0.3
標準流量(L/min)40(P2=0.3MPa)
フィルム厚さ(μm)40