フジキン 自動ベローズバルブ 空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブ

空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブ・空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成し、また高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。
ステンレス鋼製・16.2MPa
ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。
アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。
洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。
メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。
接続タイプが豊富に揃っています。
ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。
オプションでUP処理も可能です。