- 用途
- クリーンエア供給用フィルタとして。イオナイザーへのクリーンエア供給用に。液晶基板など非接触搬送時のクリーンエア供給用に。吸着搬送、真空破壊時のエアクリーン化。
- 管接続口径
- (IN側)Rc1/8、(OUT側)Rc1/8
- ねじの種類
- R
- ろ過度(μm)
- 0.01(除去効率99.99%)
- 付属品
- ブラケット、取付ねじ
- 仕様
- 構造:ステンレス材料使用/処理:禁油処理 材質制限:なし
- 質量(g)
- 100
- 使用圧力(MPa)
- -0.095~1.5(圧縮空気)、-0.095~0.99(窒素ガス)
- 材質(ケース)
- ステンレス
- 使用流体
- 圧縮空気、窒素ガス(N2)
- 材質(ボディ)
- ステンレス
- 耐圧力(MPa)
- 2.25(圧縮空気)、1.5(窒素ガス)
- 周囲温度および使用流体温度(℃)
- 5~45
- 材質(エレメント)
- ポリプロピレン+ウレタン
- 特性
- (組立・検査・包装)クリーンルームにて一貫生産
- 耐差圧(MPa)
- 0.5
- 処理流量(L/min[ANR])
- 50
- 洗浄
- 脱脂洗浄