仕様●グレード：Prime●材料：InP●コンディションタイプ/ドーパント：S-C-N/S●直径：50.05±0.2mm●方向：(100)±0.5°●フラットオペーション：EJ●1次オリフラ：(0-1-1)●ファーストOF長さ：16±2mm●2次オリフラ：(0-11)●セカンドOF長さ：7±1mm●キャリア濃度：2E18〜8E18cm-3●抵抗率：0.6-3〜2.5E-3ohm・cm●可動性：1000〜2000cm2/V・sec●EPD：Ave＜：5000cm-2●レーザーマーク：Back side major flat●エッジラウンディング：0.25mmR(Conform to SEMI Standards)●厚み：325〜375μm●TTV：Max：10μm●TIR：Max：10μm●BOW：Max：10μm●Warp：Max：15μm●面状態：Side1：PolishedSide2：Etched●パッケージ：individual container filled with N2●Epi-ready：Yes●数量：1枚(1箱)●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
アズワン品番67-3011-39
