仕様●Surface orientation error：(11-20)4±0.15°●ドーパント：n-type●1次オリフラ：[1-100]±5°●TTV：20μm●Bow：45～45μm●Warp：50μm●マイクロパイプ：≦10ea/cm2●ブラックレーザーマーキング：1mm(from top edge)長さ(mm)【1次オリフラ】32.5±1.5、【2次オリフラ】18±1.5直径(Φmm)99.5～100タイプ4H入数(枚)5グレードDummy厚さ(μm)350±25アズワン品番67-3018-21表面粗さ(μm)(Si-face)Ra≦0.0002(5μm×5μm)表面仕上げSi面 CMP Si-faceCMP抵抗値(Ω)0.015～0.025
