仕様●グレード：Dummy(D grade)●Crystal type：Single crystal●面方位：(0001)Ga face●C-plane off angle toward M-axis：≦0.5°± 0.15°●C-plane off angle toward A-axis：≦0°± 0.15°●(002)FWHM：≦100 arcsec●(102)FWHM：≦100 arcsec●曲率(格子半径)：≦10m(measured at 80% x diameter)●＜電気仕様＞●Dopingelements：室温抵抗率(300K)●N-type(Silicon)：≦0.02 ohm-cm●UID：≦0.2 ohm-cm●半絶縁(Carbon)：≧1E8 ohm-cm●形状仕様●主平面方向：M-plane(10-10)，±2°(Standard)；±0.1°(laser grade)●主平面長さ：16±1 mm●マイナーオリフラ：Ga face， 90°clockwise from the major orientation flat plane●マイナーオリフラ長さ：8±1 mm●直径：50.8±0.3mm●厚み：400±30 μm●TTV：≦15 μm●Sa：≦0.3 nm(10μm×10μm)●Bow：-10μm-5μm●量と穴とピットの最大サイズ：≦60@1500 um●エッジベベル●裏面：Polished； Etched●数量：1箱(5枚入)※1枚につき1ケース●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
アズワン品番67-3018-64
