XY直交度(mm)0.008ストローク(X距離)(mm)±30ストローク(Y距離)(mm)±30種類xyステージテーブル長さ(mm)125テーブル幅(mm)125耐荷重(N)343送り方式送りねじ移動ガイドV溝とクロスローラ仕様(送りねじ)ボールねじ質量(kg)9.6表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装繰返し精度(mm)±0.0005センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.002mm適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.004モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.2、ピッチ剛性：0.15、ロール剛性：0.15使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)0.006ロストモーション(mm)0.001最高速度(mm/s)16(8000pps時)材質(テーブル)鋼材
