XY直交度(mm)0.006
ストローク(X距離)(mm)±10
ストローク(Y距離)(mm)±10
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)39.2
送り方式送りねじ
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
仕様ボールねじ仕様スケール付(標準型)
質量(kg)0.86
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.0003
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
平行度(mm)運動/0.02
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
スケール【形式】GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)、【分解能】5μm〜0.05μm、【精度】±60nm/0.02mm
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.3、ピッチ剛性：0.4、ロール剛性：0.4
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)0.008
ロストモーション(mm)0.001
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
