移動方向X軸1方向質量(kg)0.19種類Xステージ表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.001センサーリミットセンサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、ホールIC分解能0.001mm適合ケーブルACB-STS2耐荷重(N)19.6送り方式送りねじ移動ガイドボールウェイ移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.015使用モータPK513PB相当(5線式ペンタゴン結線、0.35A/相)送りねじリード(mm)0.5位置決め精度(mm)0.02ロストモーション(mm)0.007最高速度(mm/s)8(8000pps時)テーブル幅(mm)30テーブル長さ(mm)30ストローク(X距離)(mm)±25材質(テーブル)アルミ合金
