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ALS-7013-G1M-RS ハイグレードXステージ中央精機 88971617

ハイグレードXステージ

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内容量1個注文コード88971617品番ALS-7013-G1M-RS

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参考基準価格(税別)￥355,000

この商品はストローク・送りねじリードなど24種類から選べます他の種類を見る

HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

ストローク(X距離)(mm)±15種類Xステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)49送り方式送りねじ移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)仕様ボールねじ仕様スケール付(対称型)質量(kg)0.65表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.0003センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.002mm平行度(mm)運動/0.01適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3スケール【形式】GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)、【分解能】5μm～0.05μm、【精度】±60nm/0.02mm移動方向X軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.06、ピッチ剛性：0.08、ロール剛性：0.08使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)0.012ロストモーション(mm)0.001最高速度(mm/s)16(8000pps時)材質(テーブル)アルミ合金

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XYステージ(自動)

Zステージ(自動)

回転ステージ(自動)

傾斜ステージ(自動)

コントローラドライバ

接続ケーブル

顕微鏡用XYステージ

フォーカシングユニット

アクチュエータ

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