ストローク(X距離)(mm)±15種類Xステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)49送り方式送りねじ移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)仕様ボールねじ仕様スケール付(対称型)質量(kg)0.65表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.0003センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.002mm平行度(mm)運動/0.01適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3スケール【形式】GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)、【分解能】5μm～0.05μm、【精度】±60nm/0.02mm移動方向X軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.06、ピッチ剛性：0.08、ロール剛性：0.08使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)0.012ロストモーション(mm)0.001最高速度(mm/s)16(8000pps時)材質(テーブル)アルミ合金
