種類傾斜ステージテーブル長さ(mm)60テーブル幅(mm)60耐荷重(N)29.4送り方式送りねじ移動ガイドV溝とクロスローラ質量(kg)1.2高さ(mm)(ステージ)52表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地センサー原点・リミットセンサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、ホールIC分解能上軸0.000512°、下軸0.000415°適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3移動方向傾斜2方向モーメント剛性(sec/N・cm)-回転中心ステージ上面より/96mm使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)0.5移動量(°)上軸±6、下軸±5位置決め精度(°)0.03ロストモーション(°)0.006最高速度(°/s)上軸2.6、下軸2.1/(5000pps時)繰返し精度(°)±0.002材質(テーブル)アルミ合金
