XY直交度(mm)0.02ストローク(X距離)(mm)±12.5ストローク(Y距離)(mm)±12.5種類xyステージテーブル長さ(mm)125テーブル幅(mm)125耐荷重(N)225送り方式MHN1-25MB(デジタル表示式マイクロメータ)移動ガイドV溝とクロスローラ操作位置センター質量(kg)4.5感度0.003mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.05目量デジタル表示式マイクロメータ0.001mm材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.05、ピッチ剛性：0.05、ロール剛性：0.03移動量(ツマミ1回転)0.5mm
