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AMシリーズ+AMDシリーズを一体化し、取付スペースの縮小、配管工数の削減、低コスト化を実現。 エアロゾル状の油微粒子を分離除去し、0.01μm以上のカーボンやダストを取り除きます。 高い清浄度の空気が要求される精密計測器やクリーンルーム用圧縮空気のプリフィルタとしてご使用ください。

作業性向上 エレメントとケースの一体化により手元でのエレメント交換が可能となりました。 メンテナンススペース削減 最大46%減 視認性&安全性向上 透明ケースガードでケース全周を覆いました。

耐食性向上 特殊磁性材採用 消費電力低減((DC仕様) VXZ22:8W→7W VXZ23:11.5W→10.5W 難燃性 UL94V-0準拠 難燃性モールドコイル材料 保護等級： ：IP65 メンテナンス性向上 ナット方式によりメンテナンスが容易。 静音構造 特殊構造により作動時の 金属音を低減。(DC仕様)

・全長が薄形に設計され装置のコンパクト化が実現する省スペースシリンダ。 ・4面に小型オートスイッチ取付可能(Φ12～Φ25は2面) ・オートスイッチの飛びだしがありません。 ・軽量：5～13%低減(従来CQ2比較) ・2山クレビス用受金具、コンパクトフート形金具を新たに追加 ・取付ボルト同梱、ロッド先端金具付品番を設定(別手配する手間が省けます) ・オートスイッチ付(CDQ2シリーズ：CDQ2、CDQ2W、 CDQ2K、CDQ2KW、CDQP2、CDQ2□S、CDBQ2)

作業性向上 エレメントとケースの一体化により手元でのエレメント交換が可能となりました。 メンテナンススペース削減 最大46%減 視認性&安全性向上 透明ケースガードでケース全周を覆いました。

ヘッドカバーとチューブ一体構造で全長短縮および軽量化。

・柔軟。 ・最高使用圧力0.8MPa以下(20℃時) ・可動部配管用。

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ。 流体に接する金属は全てSUS316を使用 ・禁油。 油脂類を一切使用しない部品構成 ・2種類のダイヤフラム材質：PTFE、フッ素ゴム。

狭い場所での配管が可能。極軟質

・豊富な機種で幅広い用途に対応できます。 ・パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形 ・パッド径/Φ2～Φ50

・一般空気圧配管用。 ・柔軟。

・圧縮空気中の水滴を除去します。 ・水滴除去率：99%

●フィルタとレギュレータが一体化し、省スペース・省配管化が可能●操作しやすいハンドル形状●視認性&耐環境性向上

フィルタエレメントを使用しない構造により大流量、メンテナンスフリーを実現。遠心力で水滴除去(水滴分離率99%)。 水滴を含んだ空気を旋回させ、遠心分離によって水滴を除去します。フラットで一体感のあるデザイン

・リニアガイドの剛性向上でテーブル変位量48%低減。 ピッチ方向変位量：48%減(0.31mm→0.16mm)。 ヨー方向変異量：63%減(0.24mm→0.09mm)。 ロール方向変位量：90%減(0.06mm→0.006mm)。・最大標準ストローク150mm(Φ20の場合)。・質量 最大6%削減(194g→182g)。・取付寸法、全長寸法は既存製品MXHシリーズと同等

一般空気配管用のやや軟質ソフトナイロンチューブ。

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) 寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) プラグインサブプレートに対応。 プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・スパッタ発生環境使用可能/難燃性(UL-94規格V-0相当)

大きなバルブ容量 クラッキング圧力：0.02MPa 豊富な機種

●操作しやすいハンドル形状●選べる圧力計