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FA環境における通信の安定性を実現
RoHS指令(10物質対応)対応
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり [バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり[バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり [バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり[バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
・全高低減:10%減(27mm:従来30mm)
・製品質量:22%削減(298g:従来380g)
・許容運動エネルギー:64%向上(0.09J:従来0.055J)
シリンダ内径(Φmm)8
作動方式複動
・豊富な機種で幅広い用途に対応できます。
・パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形
・パッド径/Φ2~Φ50
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり [バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり [バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり [バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり [バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり[バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり[バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり [バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり[バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり [バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
・高剛性、高精度・最長400ストロークに対応。
・高剛性、高精度・最長400ストロークに対応。
作動方式複動
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり[バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
シリンダ内径(Φmm)8
作動方式複動形
開閉ストローク(両側)(mm)16
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状:平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり[バッファストローク(mm):6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
操作ポート方向フランジ側
シリンダ内径(Φmm)8
作動方式複動形
開閉ストローク(両側)(mm)16
シリンダ内径(Φmm)8
ストローク(mm)10
作動方式複動
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品);リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
オーダーメイド仕様標準
温度仕様/ヒータの有無5~150℃、120℃用ヒータ付
1個
¥389,800
税込¥428,780
91日以内出荷
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品);リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
オーダーメイド仕様標準
温度仕様/ヒータの有無5~150℃、100℃用ヒータ付
1個
¥379,800
税込¥417,780
91日以内出荷
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
フランジタイプKF(NW)
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
オーダーメイド仕様標準
温度仕様/ヒータの有無5~60℃、ヒータなし
最大使用圧力(MPa)21
シリーズSY5000
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