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装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)
用途装置テスト用、ダミー(モニター用)
仕様パーティクル等:不問、導電型:ノンドープ、製造:FZ
サイズ4インチ
直径(Φmm)100±0.5
厚さ(μm)525±20
仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ
抵抗値≧1000Ωcm
方位面:100
1枚
¥14,980
税込¥16,478
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装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
用途装置テスト用、ダミー(モニター用)
仕様パーティクル:0.3μm≦10、導電型:ノンドープ、製造:FZ
サイズ4インチ
直径(Φmm)100±0.5
厚さ(μm)525±20
仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ
抵抗値≧1000Ωcm
方位面:100
1箱(25枚)
¥189,800
税込¥208,780
15日以内出荷
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