4インチ シリコンウエハー ノンドープ(100) 抵抗値 1000Ω
装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
- 用途
- 装置テスト用、ダミー(モニター用)
- 仕様
- パーティクル：0.3μm≦10、導電型：ノンドープ、製造：FZ
- 材質
- シリコン
- サイズ
- 4インチ
- 直径(Φmm)
- 100±0.5
- 厚さ(μm)
- 525±20
- 仕上
- 片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ
- 抵抗値
- ≧1000Ωcm
- 製造方法
- FZ法
- 方位
- 面：100
- 内容量
- 1箱(25枚)
注意
※製品の特性上、長期欠品時以外はご注文後のキャンセルはお受けできかねます。在庫がない場合は30日程納期がかかります。予めご了承ください。研究関連用品・実験用必需品 の新着商品
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