各種ガスに対応しており、ご使用のMini-CUBEシリーズ各ガス発生装置の上段にも重ねて設置出来ます。
用途各種理化学機器に最適です。
仕様体積10.6L
材質SUS
寸法(mm)310×392×310
圧力計(MPa)0~1.0
圧力範囲(MPa)(スイッチング)0.1~0.8MPa
1台
¥459,800
税込¥505,780
31日以内出荷
本器は高精度フロート式流量計と、精密ニードルバルブを組合せ、微小流量の計測制御に最適の製品です
用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
接続口径(Rc)1/4
精度±2%F.S.
寸法E(mm)29
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
徹底した合理化に基づき設計された流量計で安価でありながら精度、再現性に優れております。
用途環境計測機器に
一般分析機器に
パージ装置用に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
液体用に開発されたステンレス製定流量弁で、一次側の圧力変動及び、二次側の圧力変動に対しても、液体の流量を一定に制御します。
用途・分析計に
・環境計測機器関連分野に
・液体混合装置に
適合流体水
高精度な計測が可能。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能
高精度な計測が可能。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能
表示器付ローコストマスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
材質(シール)FKM
使用圧力(MPa)0.0~0.5(G)
バルブの有無なし
耐圧(MPa)1.0(G)
接続RC1/4
センサー熱式センサー
所要電力DC24V±5% 100mA
温度係数FS±0.2%/℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)0~50
材質(ボディ)接ガス部:SUS303、PTFE
許容湿度(%)30~80(結露なきこと)
イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
微少流量から幅広い流量レンジに対応。±2%F.S.以下の高精度な計測が可能。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能、上部ニードルバルブ仕様対応
仕様有効目盛:10:1
材質真鍮、硬質ガラス、NBR、POM、SU316(PTFE)
精度±2%F.S.
接続Rc1/4
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
表示器付ローコストマスフローメータ(ニードルバルブ一体型)です。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。また、ニードルバルブによって流量制御を行うことも可能です。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
材質(シール)FKM
使用圧力(MPa)0.0~0.5(G)
バルブの有無あり
耐圧(MPa)1.0(G)
接続RC1/4
センサー熱式センサー
所要電力DC24V±5% 100mA
温度係数FS±0.2%/℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)0~50
材質(ボディ)接ガス部:SUS303、PTFE
二次側圧力(MPa)0
許容湿度(%)30~80(結露なきこと)
イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
関連資料カタログ(0.77MB)
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2~100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
関連資料カタログ(0.77MB)
動作差圧(kPa)50~300
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手RC1/4
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
フルスケール流量500SCCM
流量制御範囲2~100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、FKM
質量(g)約1200
種類メータ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
関連資料カタログ(0.77MB)
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2~100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。
小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。
接続口径Rc1/8(標準) Rc1/4(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±5%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ有り
供給圧力(MPa)0.1(標準)
圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。
小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。
接続口径Rc1/8(標準) Rc1/4(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±5%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ無し
圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。流量制御が可能なニードルバルブを組合わせています。小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。
材質本体ブロック:SUS304 テーパー管:硬質ガラス パッキン:FKM フロート:硬質ガラス SUS316
接続口径Rc1/8(標準) Rc1/4(オプション)等
使用温度範囲(℃)最高温度60
目盛【有効】10:1
精度±5%FS(計測ポイント)
バルブ有り
供給圧力(MPa)0.1(標準)
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
材質本体ブロック:真鍮、テーパー管:硬質ガラス、パッキン:NBR、フロート:硬質ガラス SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ【ニードルバルブ】下部バルブ(標準):供給圧力/0.1MPa・出口圧力/0MPa(標準)
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。精密流量制御のできるニードルバルブ付で微小流量の制御に適しています。
仕様●ニードルバルブ:下部バルブ(標準) 供給圧力/0.1MPa 出口圧力/0MPa(標準)●有効目盛:10:1
材質ブロック:SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
使用温度範囲(℃)最高温度60
精度±2%FS(計測ポイント)
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。精密流量制御のできるニードルバルブ付で微小流量の制御に適しています。
仕様●ニードルバルブ:下部バルブ(標準) 供給圧力/0.1MPa 出口圧力/0MPa(標準)●有効目盛:10:1
材質ブロック:SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
使用温度範囲(℃)最高温度60
精度±2%FS(計測ポイント)
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