「流量計 ガス」の検索結果
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空気(AIR)/窒素ガス(N2)用の小型軽量樹脂製流量計です。
適合流体空気(AIR)/窒素ガス(N2)
精度FS±6%
接続口径RC1/4
材質本体/ABS、テーパ管/アクリル、フロート/硬質ガラス、SUS316、継手/SUS303、シール材/フッ素ゴム
耐圧(MPa)0.7
最高使用温度(℃)65
本器は高精度フロート式流量計と、精密ニードルバルブを組合せ、微小流量の計測制御に最適の製品です
用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
接続口径(Rc)1/4
精度±2%F.S.
寸法E(mm)29
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
徹底した合理化に基づき設計された流量計で安価でありながら精度、再現性に優れております。
用途環境計測機器に
一般分析機器に
パージ装置用に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
エコ商品
金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。
優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。
RoHS指令対応品です。
用途機器組み込み用に。
ガスパージ計測用に。
接続部のサイズRc1/8
質量(g)250
目盛10:1(有効目盛)
精度FS±10%
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.5
材質/仕上本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)
RoHS指令(10物質対応)対応
生産合理化を計り、ローコスト化、短納期化を実現しました。
安定性も高精度タイプと比較しても何ら遜色のない性能を有しています。
用途・ガスパージ用に
・機器組込み用に
・各種分析計に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10：1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローコントローラ(MC)
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体窒素ガス(N2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体水素ガス(H2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体酸素ガス(O2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体炭酸ガス(CO2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
通信方式RS485
表示器一体型：4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)5～45
関連資料カタログ(0.77MB)
動作差圧(kPa)50～300
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口：500
継手RC1/4
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
フルスケール流量500SCCM
流量制御範囲2～100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、FKM
質量(g)約1200
種類メータ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
通信方式RS485
表示器一体型：4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)5～45
関連資料カタログ(0.77MB)
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口：500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2～100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
独自の精密成型によるガラス管と超精密球のフロートにより、高い精度を保証します。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
接続部のサイズRc1/4
質量(g)377
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体アルゴンガス(AR)
ヘリウムガス(HE)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体ヘリウムガス(HE)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
通信方式RS485
表示器一体型：4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)5～45
関連資料カタログ(0.77MB)
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口：500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2～100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
自社で正確な混合比率の混合ガスを生産できます。
8インチのタッチパネルの採用により、混合ガスの濃度、流量施一定が簡略化されました。
データロギング、ステップ制御などの付加機能も搭載しています。
用途分析機器へのガス供給、食品包装、熱処理、はんだ付、溶接、酸素濃度制御、腐食性試験等に、使用できます。
周囲温度(℃)5-50℃(精度保証15-35℃)
流量精度±1% (F.S.)
空気(AIR)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体空気(AIR)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
窒素ガス(N2)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体窒素ガス(N2)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
炭酸ガス(CO2)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体炭酸ガス(CO2)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
水(H2O)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体水(H2O)
材質SUS316
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
最高使用温度(℃)120
調整ねじ約12回転
アルゴンガス(AR)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体アルゴンガス(AR)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
酸素ガス(O2)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体酸素ガス(O2)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
水素ガス(H2)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体水素ガス(H2)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
ヘリウムガス(HE)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体ヘリウムガス(HE)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローメータ(MM)
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
マスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
小型軽量な表示器付ローコストマスフローメータです。瞬時流量表示、積算流量表示に対応します。流量信号の外部出力が可能です。流量監視用アラーム2点出力ございます。DC24V電源のみで駆動可能です(別売ACアダプタ：PSK-38DSⅡ)。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他、各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
小型軽量な表示器付ローコストマスフローメータです。精密ニードルバルブと一体になっており、流量制御も可能です。瞬時流量表示、積算流量表示に対応します。流量信号の外部出力が可能です。流量監視用アラーム2点出力ございます。DC24V電源のみで駆動可能です(別売ACアダプタ：PSK-38DSⅡ)。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他、各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
マスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
表示器付ローコストマスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
材質(シール)FKM
使用圧力(MPa)0.0～0.5(G)
バルブの有無なし
耐圧(MPa)1.0(G)
接続RC1/4
センサー熱式センサー
所要電力DC24V±5% 100mA
温度係数FS±0.2%/℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)0～50
材質(ボディ)接ガス部：SUS303、PTFE
許容湿度(%)30～80(結露なきこと)
イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
表示器付ローコストマスフローメータ(ニードルバルブ一体型)です。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。また、ニードルバルブによって流量制御を行うことも可能です。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
材質(シール)FKM
使用圧力(MPa)0.0～0.5(G)
バルブの有無あり
耐圧(MPa)1.0(G)
接続RC1/4
センサー熱式センサー
所要電力DC24V±5% 100mA
温度係数FS±0.2%/℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)0～50
材質(ボディ)接ガス部：SUS303、PTFE
二次側圧力(MPa)0
許容湿度(%)30～80(結露なきこと)
イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
精密流量制御のできるニードルバルブを組み合わせた高級グレードのバルブ付フローメータです(水(H2O)用)。微少流量の計測制御に最適です。
測定流体ガス：Air、N2、O2、H2、He、Ar、CO(実ガス校正)、液体：標準流体(H2O)
小型で軽量、単電源DC24V駆動のマスフローメータです。
表示器一体型で、瞬時・積算流量表示や、上下アラーム設定等が簡単操作で行えます。
RS485通信機能を標準搭載しています。
仕様【デジタル通信】RS485(MODBUSプロトコル、RTUモード) ID：1～247
電源(V)DC24±10%/100mA以下
耐圧(MPa)1(G)
表示範囲ゼロカット機能不使用時 約-10～125%FS(表示リミッター点滅)
入出力【ニードルバルブ】一次側圧力：0.1MPa/二次側圧力：0MPa(標準)
更新周期(ms)25/50/100/200/500/1000(瞬時流量)
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