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流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。 DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。 ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。 センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。 別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローメータ(MM) バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉) センサータイプ熱式巻線センサ 再現性±0.5%FS
1個
119,800 税込131,780
36日以内出荷
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流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。 DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。 ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。 センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。 別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローコントローラ(MC) バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉) センサータイプ熱式巻線センサ 再現性±0.5%FS
1個
179,800 税込197,780
36日以内出荷
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窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。 適合流体窒素ガス(N2) 仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上) セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m 材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM 電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA センサータイプ熱式巻線センサ 再現性±0.5%F.S. 耐圧(MPa)1 保存温度(℃)-10~60 周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと) 許容周囲温度(℃)5~45 最大圧力(kPa)入口:500 バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉) 電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠) リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
1式
219,800 税込241,780
32日以内出荷
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小型軽量な表示器付ローコストマスフローメータです。精密ニードルバルブと一体になっており、流量制御も可能です。瞬時流量表示、積算流量表示に対応します。流量信号の外部出力が可能です。流量監視用アラーム2点出力ございます。DC24V電源のみで駆動可能です(別売ACアダプタ:PSK-38DSⅡ)。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他、各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
1個
83,980 税込92,378
17日以内出荷から18日以内出荷
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ヘリウムガス(HE)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。 適合流体ヘリウムガス(HE)
1式
219,800 税込241,780
32日以内出荷
バリエーション一覧へ (32種類の商品があります)

アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。 適合流体アルゴンガス(AR)
1式
219,800 税込241,780
32日以内出荷
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水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。 適合流体水素ガス(H2) 仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上) セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m 材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM 電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA センサータイプ熱式巻線センサ 再現性±0.5%F.S. 耐圧(MPa)1 保存温度(℃)-10~60 周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと) 許容周囲温度(℃)5~45 最大圧力(kPa)入口:500 バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉) 電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠) リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
1式
219,800 税込241,780
32日以内出荷
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酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。 適合流体酸素ガス(O2) 仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上) セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m 材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM 電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA センサータイプ熱式巻線センサ 再現性±0.5%F.S. 耐圧(MPa)1 保存温度(℃)-10~60 周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと) 許容周囲温度(℃)5~45 最大圧力(kPa)入口:500 バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉) 電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠) リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
1式
219,800 税込241,780
32日以内出荷
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炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。 適合流体炭酸ガス(CO2) 仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上) セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m 材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM 電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA センサータイプ熱式巻線センサ 再現性±0.5%F.S. 耐圧(MPa)1 保存温度(℃)-10~60 周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと) 許容周囲温度(℃)5~45 最大圧力(kPa)入口:500 バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉) 電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠) リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
1式
219,800 税込241,780
32日以内出荷
バリエーション一覧へ (32種類の商品があります)

小型軽量な表示器付ローコストマスフローメータです。瞬時流量表示、積算流量表示に対応します。流量信号の外部出力が可能です。流量監視用アラーム2点出力ございます。DC24V電源のみで駆動可能です(別売ACアダプタ:PSK-38DSⅡ)。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他、各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
1個
62,980 税込69,278
18日以内出荷から43日以内出荷
バリエーション一覧へ (13種類の商品があります)

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