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水(H2O)用の小型軽量樹脂製流量計です。
最高使用温度(℃)65
耐圧(MPa)0.7
材質本体/ABS、テーパ管/アクリル、フロート/硬質ガラス、SUS316、継手/SUS304、シール材/フッ素ゴム
接続口径RC1/4
精度FS±6%
適合流体水(H2O)
酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体酸素ガス(O2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
自社で正確な混合比率の混合ガスを生産できます。
8インチのタッチパネルの採用により、混合ガスの濃度、流量施一定が簡略化されました。
データロギング、ステップ制御などの付加機能も搭載しています。
用途分析機器へのガス供給、食品包装、熱処理、はんだ付、溶接、酸素濃度制御、腐食性試験等に、使用できます。
周囲温度(℃)5-50℃(精度保証15-35℃)
流量精度±1% (F.S.)
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