本器は高精度フロート式流量計と、精密ニードルバルブを組合せ、微小流量の計測制御に最適の製品です
用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
接続口径(Rc)1/4
精度±2%F.S.
寸法E(mm)29
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
徹底した合理化に基づき設計された流量計で安価でありながら精度、再現性に優れております。
用途環境計測機器に
一般分析機器に
パージ装置用に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。
小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。
接続口径Rc1/8(標準) Rc1/4(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±5%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ有り
供給圧力(MPa)0.1(標準)
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。
小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。
接続口径Rc1/8(標準) Rc1/4(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±5%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ無し
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。精密流量制御のできるニードルバルブ付で微小流量の制御に適しています。
仕様●ニードルバルブ:下部バルブ(標準) 供給圧力/0.1MPa 出口圧力/0MPa(標準)●有効目盛:10:1
材質ブロック:SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
使用温度範囲(℃)最高温度60
精度±2%FS(計測ポイント)
生産合理化を計り、ローコスト化、短納期化を実現しました。
安定性も高精度タイプと比較しても何ら遜色のない性能を有しています。
用途・ガスパージ用に
・機器組込み用に
・各種分析計に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。流量制御が可能なニードルバルブを組合わせています。小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。
材質本体ブロック:SUS304 テーパー管:硬質ガラス パッキン:FKM フロート:硬質ガラス SUS316
接続口径Rc1/8(標準) Rc1/4(オプション)等
使用温度範囲(℃)最高温度60
目盛【有効】10:1
精度±5%FS(計測ポイント)
バルブ有り
供給圧力(MPa)0.1(標準)
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。精密流量制御のできるニードルバルブ付で微小流量の制御に適しています。
仕様●ニードルバルブ:下部バルブ(標準) 供給圧力/0.1MPa 出口圧力/0MPa(標準)●有効目盛:10:1
材質ブロック:SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
使用温度範囲(℃)最高温度60
精度±2%FS(計測ポイント)
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