HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.44
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.05、ピッチ剛性 0.20、ロール剛性 0.20
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度:0.030
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.55
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.03、ピッチ剛性 0.10、ロール剛性 0.10
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度:0.030
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.44
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.05、ピッチ剛性 0.20、ロール剛性 0.20
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度:0.030
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.23
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.20、ピッチ剛性 0.50、ロール剛性 0.50
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度:0.030
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.55
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.03、ピッチ剛性 0.10、ロール剛性 0.10
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度:0.030
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.34
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.10、ピッチ剛性 0.30、ロール剛性 0.30
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度:0.030
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.07
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.00、ピッチ剛性 1.00、ロール剛性 1.00
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度:0.030
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.34
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.10、ピッチ剛性 0.30、ロール剛性 0.30
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度:0.030
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.23
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.20、ピッチ剛性 0.50、ロール剛性 0.50
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度:0.030
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.07
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.00、ピッチ剛性 1.00、ロール剛性 1.00
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度:0.030
HG-VCR方式とアルミ合金を組み合わせ剛性、軽量を両立した昇降型のZ軸ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)29.3
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.1
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.0、ピッチ剛性 2.5、ロール剛性 0.4
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:150、ピッチ:100、ロール:160
垂直度(mm)0.01
HG-VCR方式とアルミ合金を組み合わせ剛性、軽量を両立した昇降型のZ軸ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)29.3
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.2
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.1
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.5、ピッチ剛性 3.0、ロール剛性 0.7
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:150、ピッチ:100、ロール:160
垂直度(mm)0.01
HG-VCR方式とアルミ合金を組み合わせ剛性、軽量を両立した昇降型のZ軸ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)29.3
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.1
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.005
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.0、ピッチ剛性 2.5、ロール剛性 0.4
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:150、ピッチ:100、ロール:160
垂直度(mm)0.01
HG-VCR方式とアルミ合金を組み合わせ剛性、軽量を両立した昇降型のZ軸ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)29.3
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.25
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.1
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.5、ピッチ剛性 3.0、ロール剛性 0.6
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:150、ピッチ:100、ロール:160
垂直度(mm)0.01
ハイグレードアルミXYステージと、ハイグレードZ昇降ステージを組み合わせたXYZステージです。
標準型、対称型があり左右対称が構成できます。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)14.7
送り方式(XY軸)CMH-6.5RA、(Z軸)CMH-6.5F(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドXY軸:HG-VCR方式(V溝とクロスローラ)、Z軸:V溝とクロスローラ
質量(kg)0.18
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸:0.002、Z軸:0.003
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
ハイグレードアルミXYステージと、軽量なZ軸および回転軸ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。
標準型、対称型があり左右対称が構成できます。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
移動方向XYZ軸4方向
質量(kg)0.28
種類xyzステージ/回転ステージ
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)目盛読み2°/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.027°)
耐荷重(N)9.8
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式(XY軸)CMH-6.5RA、(Z軸)CMH-6.5F、(回転軸)CMH-6.5RA(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドXY軸:HG-VCR(V溝とクロスローラ)、Z軸:V溝レールと鋼球、回転軸:すり合わせ
移動精度(mm)真直度/XY軸:0.002、Z軸:0.003、心円度/回転軸:0.02、面振れ/回転軸:0.02
XY直交度(mm)0.01
移動量(°)粗動360・微動±5
ストローク(X距離)(mm)±3
ストローク(Y距離)(mm)±3
ストローク(Z距離)(mm)0~5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約1.36°
ハイグレードアルミXYステージとハイグレードZ昇降、微動回転ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。標準型、対称型があり左右対称が構成できます。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)29.4
送り方式(XYZ軸)CMH-13RM、(回転軸)CMH-6.5RA (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XYZ軸)HG-VCR(V溝とクロスローラ)、(回転軸)すり合わせ
質量(kg)1.11
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み10′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm4°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
ステージ寸法(mm)Φ70
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.002、(Z軸)0.005、心円度(回転軸)0.04、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.7°
ハイグレードアルミXYステージとハイグレードZ昇降、微動回転ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。標準型、対称型があり左右対称が構成できます。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)29.4
送り方式(XYZ軸)CMH-13RM、(回転軸)CMH-6.5RA (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XYZ軸)HG-VCR(V溝とクロスローラ)、(回転軸)すり合わせ
質量(kg)0.89
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み10′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm6°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
ステージ寸法(mm)Φ60
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.002、(Z軸)0.003、心円度(回転軸)0.04、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.8°
ハイグレードアルミXYステージとハイグレードZ昇降、微動回転ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。標準型、対称型があり左右対称が構成できます。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)19.6
送り方式(XYZ軸)CMH-13RM、(回転軸)CMH-6.5RA (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XYZ軸)HG-VCR(V溝とクロスローラ)、(回転軸)すり合わせ
質量(kg)0.7
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み10′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm8°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
ステージ寸法(mm)Φ50
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.002、(Z軸)0.003、心円度(回転軸)0.05、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.92°
ハイグレードアルミXYステージと、軽量なZ軸および回転軸ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。標準型、対称型があり左右対称が構成できます。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)14.7
送り方式(XYZ軸)CMH-13RM、(回転軸)CMH-6.5RA (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XYZ軸)HG-VCR(V溝とクロスローラ)、(回転軸)すり合わせ
質量(kg)0.5
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み10′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.020°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
ステージ寸法(mm)Φ39
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.002、(Z軸)0.003、心円度(回転軸)0.05、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.99°
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