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水、空気、ガス、油等、多種類の流体を制御するマルチフレックスバルブシリーズ。高信頼、高品質に加え、オプションバリエーションを豊富に揃え、様々な設備、装置類の性能を確実に高めます。

多種流体を制御、多彩なシリーズ・バリエーション

多種流体を制御、多彩なシリーズ・バリエーション

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

屋外で使用可能な2ポート電磁弁です。低温での使用が可能で、最低周囲温度はー10℃から対応します。屋外想定試験である促進対候性試験を1000時間(3年加速相当)、複合サイクル試験を960時間(7年加速相当)、オゾン暴露試験を400時間、クリアしました。耐候性を配慮した部品を採用し、屋外など過酷な環境での使用を想定しています。(錆対応、防塵・防水(IP65)など)。パイロットキック式で、作動圧力差0でも作動します。

屋外で使用可能な2ポート電磁弁です。●低温での使用が可能で、最低周囲温度はー20℃から対応します。●屋外想定試験である促進対候性試験を1000時間(3年加速相当)、複合サイクル試験を960時間(7年加速相当)、オゾン暴露試験を400時間、クリアしました。●オプションで使用開始までの最大2年間+使用開始後1年間の最大3年間を保証します。プラント、海外向けなど稼働までに期間がかかる設備に最適です。●耐候性を配慮した部品を採用し、屋外など過酷な環境での使用を想定しています。(錆対応、防塵・防水(IP65)など)●パイロットキック式で、作動圧力差0でも作動します。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

屋外で使用可能な2ポート電磁弁です。低温での使用が可能で、最低周囲温度はー20℃から対応します。屋外想定試験である促進対候性試験を1000時間(3年加速相当)、複合サイクル試験を960時間(7年加速相当)、オゾン暴露試験を400時間、クリアしました。耐候性を配慮した部品を採用し、屋外など過酷な環境での使用を想定しています。(錆対応、防塵・防水(IP65)など)。パイロットキック式で、作動圧力差0でも作動します。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

屋外で使用可能な2ポート電磁弁です。●低温での使用が可能で、最低周囲温度はー10℃から対応します。●屋外想定試験である促進対候性試験を1000時間(3年加速相当)、複合サイクル試験を960時間(7年加速相当)、オゾン暴露試験を400時間、クリアしました。●オプションで使用開始までの最大2年間+使用開始後1年間の最大3年間を保証します。プラント、海外向けなど稼働までに期間がかかる設備に最適です。●耐候性を配慮した部品を採用し、屋外など過酷な環境での使用を想定しています。(錆対応、防塵・防水(IP65)など)●パイロットキック式で、作動圧力差0でも作動します。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

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設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。