チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状片口エルボ
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状ストレート
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状メスストレート
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
ねじの種類R
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状隔壁メス
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
ねじの種類R
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状バルクヘッド
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
寸法E(mm)4.2
形状Y型プラグ
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
寸法E(mm)4.2
形状両口Yチーズ
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状FY形R付
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状片口45°エルボ
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状対締付ジョイント用バルクヘッド
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
一般形シリンダの中で中口径(Φ20~40mm)のシリーズで、無給油・高耐食・長寿命なシリンダです。●シリーズオプションがジャバラ付、ロッド材質変更など様々なオプションが豊富なカシメタイプのシリンダです。●シリンダチューブにステンレス材を使用し、耐食性を高めたシリンダです。
用途一般用途に(要ステンレスチューブ環境)
作動方式複動形
作動方式複動・片ロッド形
設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
付属品ハウジング、端子
質量(kg)0.14
使用温度(℃)【供給ガス】5~60
繰返し精度(mm)±1
使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス
チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4
材質(ボディ)PPS
周囲温度(℃)5~60
チューブ長さ(m)5以内
流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)
材質(ダイアフラム)FKM,FFKM
応差(mm)2
応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
一般形シリンダの中で中口径(Φ20~40mm)のシリーズで、無給油・高耐食・長寿命なシリンダです。●シリーズオプションがジャバラ付、ロッド材質変更など様々なオプションが豊富なカシメタイプのシリンダです。●シリンダチューブにステンレス材を使用し、耐食性を高めたシリンダです。
用途一般用途に(要ステンレスチューブ環境)
シンプルデザイン、全長寸法が短い、取付作業が容易
寸法N(mm)2
作動方式復動形
形式基本形
使用ピストン速度(mm/s)30~1000(許容吸収エネルギー内でご使用ください)
最高使用圧力(MPa)1
使用流体圧縮空気
保証耐圧力(MPa)1.6
給油不要(給油時はタービン油1種ISOVG32を使用)
周囲温度(℃)-10~60(但し、凍結なきこと)
一般形シリンダの中で中口径(Φ20~40mm)のシリーズで、無給油・高耐食・長寿命なシリンダです。●シリーズオプションがジャバラ付、ロッド材質変更など様々なオプションが豊富なカシメタイプのシリンダです。●シリンダチューブにステンレス材を使用し、耐食性を高めたシリンダです。
用途一般用途に(要ステンレスチューブ環境)
作動方式複動形
作動方式複動・片ロッド形
チューブ内径(Φmm)16
作動方式複動・片ロッド形
作動方式複動形・回り止め形
作動方式複動形・エアクッション付
チューブ内径(Φmm)32
作動方式複動形・エアクッション付
チューブ内径(Φmm)20
寸法N(mm)2
作動方式復動形
形式ロッド側フランジ形
使用ピストン速度(mm/s)30~1000(許容吸収エネルギー内でご使用ください)
最高使用圧力(MPa)1
使用流体圧縮空気
保証耐圧力(MPa)1.6
給油不要(給油時はタービン油1種ISOVG32を使用)
周囲温度(℃)-10~60(但し、凍結なきこと)
作動方式復動形
形式一山クレビス形
使用ピストン速度(mm/s)30~1000(許容吸収エネルギー内でご使用ください)
最高使用圧力(MPa)1
使用流体圧縮空気
保証耐圧力(MPa)1.6
給油不要(給油時はタービン油1種ISOVG32を使用)
周囲温度(℃)-10~60(但し、凍結なきこと)
作動方式複動形・両ロッド形
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