ポート数5
ポート数5
使用流体圧縮空気
ポート数5
ポート数5
使用流体圧縮空気
ポート数5
使用流体圧縮空気
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動・片ロッド形
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動・片ロッド形
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状片口ストレート
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
作動方式パイロットキック式
ポート数2
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状片口エルボ
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
ポート数5
種別部品
ポート数5
作動方式パイロット式
ポート数2
ねじの種類Rc
最高使用圧力(MPa)1.0
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180
周囲温度(℃)-10~60
ポート数5
ポート数5
ポート数5
高信頼性:新設計のソフトスプールが信頼性を高めています。長寿命:新開発の耐摩耗性に優れたパッキンの採用により長寿命を実現します。応答性:新開発の特殊パッキンにより、初動時等の応答性が安定します。コンパクト:コンパクト設計により、組み込み装置の小型化に貢献します。豊富な電線接続:リード線タイプから、端子箱、各種コネクタなどを豊富に用意。さらに、動作表示ランプやサージキラーの組合せもできます。
ポート数5
使用流体圧縮空気
切替方式2位置シングル
種別ダイレクト配管タイプ
弁仕様パイロット式ソフトスプール弁
保護構造防塵
使用圧力(MPa)0.15~0.7
位置数2
保証耐圧力(MPa)1.05
流体温度(℃)5~50
電線接続方法グロメットリード線
材質(ボディ)アルミニウム合金ダイカスト
耐熱クラスB(モールドコイル)
振動(m/s2)50以下
手動操作方式ノンロック式手動装置
給油不要
耐衝撃(m/s2)300以下
雰囲気腐食性ガス雰囲気での使用は不可
電圧許容範囲±10%
周囲温度(℃)-5~50
安全面を強化。信頼性、使いやすさをグレードアップ。
ポート数5
設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
付属品ハウジング、端子
質量(kg)0.14
使用温度(℃)【供給ガス】5~60
繰返し精度(mm)±1
使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス
チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4
材質(ボディ)PPS
周囲温度(℃)5~60
チューブ長さ(m)5以内
流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)
材質(ダイアフラム)FKM,FFKM
応差(mm)2
応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
作動方式パイロット式
弁構造パイロット式ポペット構造 ダイアフラム駆動
ポート数5
ポート数5
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状メスストレート
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
ねじの種類R
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
ポート数5
ソレノイド数シングル
位置数2
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
接続口径3/8
接続方式Rc
耐圧力(MPa)25(水圧にて)
弁構造直動式ポペット構造
ポート数5
ポート数5
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状両口チーズ
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
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