ポート数5
使用流体圧縮空気
ポート数5
ポート数5
使用流体圧縮空気
ポート数5
使用流体圧縮空気
ポート数5
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動・片ロッド形
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動・片ロッド形
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状片口エルボ
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状片口ストレート
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
種別部品
作動方式パイロットキック式
ポート数2
ポート数5
ポート数5
ポート数5
作動方式パイロット式
ポート数2
ねじの種類Rc
最高使用圧力(MPa)1.0
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180
周囲温度(℃)-10~60
ポート数5
安全面を強化。信頼性、使いやすさをグレードアップ。
ポート数5
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)28
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc3/4
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)23
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1/2
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)16
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)28
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)28
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1/2
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)16
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)28
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc3/4
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)23
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
付属品ハウジング、端子
質量(kg)0.14
使用温度(℃)【供給ガス】5~60
繰返し精度(mm)±1
使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス
チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4
材質(ボディ)PPS
周囲温度(℃)5~60
チューブ長さ(m)5以内
流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)
材質(ダイアフラム)FKM,FFKM
応差(mm)2
応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1/2
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)16
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc3/4
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)23
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1/2
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)16
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc3/4
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)23
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
ポート数5
作動方式パイロット式
弁構造パイロット式ポペット構造 ダイアフラム駆動
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