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1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar：CO2(8：2))に対応できる小形の流量センサです。 高精度・高応答 繰返し精度：±1%F.S.以内、表示精度：±3%F.S.以内、応答時間：50msec 流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。 双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。 液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。 オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。 継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。

1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar：CO2(8：2))に対応できる小形の流量センサです。 高精度・高応答 繰返し精度：±1%F.S.以内、表示精度：±3%F.S.以内、応答時間：50msec 流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。 双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。 液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。 オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。 継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。

設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。

□30mmのコンパクトな2画面・3色表示の圧力センサです。IO-Link対応により装置のIoT化に貢献します。パラメータやイベントデータの伝送ができ、予知保全が可能で、圧力の見える化、集中管理に最適です。2画面表示によるダイレクト設定が可能です。現在圧力をメイン画面、設定圧力をサブ画面に表示し、現在圧力を見ながらサブ画面で設定圧力を変更できます。従来品より、通常時で14%の電力を削減しました。エコモードを使うと最大で50%の削減が可能です。複数使用時にマスタ1つを設定すると、残りはコピー機能で設定をコピーすることが可能です。工数低減と設定ミスを防止します。省スペースで密着取付けが可能です。変動する圧力の最大値と最小値を2画面を使用して表示します(ピーク・ボトムホールド機能)。

フィルタエレメントに中空糸膜を採用したインライン形クリーンフィルタです。独自の中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現しました。中空糸膜のため、平膜式と比べ、寿命は約5倍アップと長寿命です。同一容積の平膜式に比べ、3～10倍のろ過面積があり、大流量で低圧損です。同一流量なら小形・軽量化が可能です。メンテナンス時期を容易に判断するため、透明ケースを採用し、エレメントの汚れを目視確認できるようにしました。禁油仕様です。部品はすべて脱脂洗浄を実施し、組立から包装までをクリーンルーム内で一貫生産しています。

ボディ、プッシュリングは難燃性樹脂を採用 金属部品は、すべてステンレス標準採用

チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします