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マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。

豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプです。 モーター直結型で小型で大きな排気速度が得られます。

接ガス部にベアリングのない高湿ガス対応設計です。 エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止します。 油を使用していないため、クリーンな排気が可能です。

低音低振動です。 ベルトレスでモーター直結のため装置への組み込みが容易です。

大排気量でコンパクトなサイズです。 特殊樹脂製ピストンリングの上下運動を利用して排気を行う揺動ピストン型ドライポンプです。 油を使用していませんので、クリーンな減圧ができます。

大排気量でコンパクトサイズ! 特殊樹脂製ピストンリングの上下運動を利用して排気を行う揺動ピストン型ドライポンプです。 油を使用していませんので、クリーンな減圧ができます。

排気音低騒音タイプです。 油漏れ防止対策のマグネットカップリングを採用しました。

低真空から中真空まで使用可能です。 内部が見やすくクリアな視認性に優れています。 4つの接続ポートで多目的に使用可能です。 バルブセット2式を標準装備です。 ロック機能があり安心です。 金属ベースで高いシール性と高強度を実現しています。

コンパクトで持ち運びに便利です。 装置への組み込みにも適しています。 低騒音・低振動です。

メカニカルブースターポンプ・補助ポンプ・配管をコンパクトに一体化させた、小型の高真空排気装置です。

異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。 コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能 ラインアップの充実：アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定 世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現 フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能 広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域(1×10+5～1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時) 正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)

コンパクトで移動が容易です。振動の少ない直結型油回転真空ポンプ(防振ゴム付き)を使用していますので、振動がほとんどありません。取り扱いや保守点検が容易で実験用に適しています。

接ガス部はPTFE(テフロン(R))を使用し、耐蝕性に優れています。

ダイアフラム式のドライ真空ポンプです。100V電源で使用でき、長時間の連続運転に耐え保守も容易です。

持ち運びに便利なコンパクトタイプです。 直結型、モーターとポンプ部をつなぐベルトは必要ありません。

DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。 マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。 ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。 ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。

気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。低真空領域(0.4～2700Pa)の測定が可能です。フィラメント材には耐久性に優れた白金(Pt)を採用しています。

高効率(IE3)マルチ電圧モータを標準搭載しています。空冷方式のため、冷却水不要です。オイルミストトラップ(TM201・TM401)は排気ガスに含まれる油煙をトラップします。

接ガス部にベアリングのない高湿ガス対応設計です。水蒸気吸引と連続大気開放運転が可能です。エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止します。

DTU-20型は接ガス部にPTFEを採用した耐食タイプです。

接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。加圧専用タイプもあります。自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。大気圧からの作動が可能。

ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。 複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。

有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプのケミカルタイプ 自動復帰型のサーマルプロテクタ内蔵による安全設計 大気圧からの作動が可能 シンプル構造で、メンテナンスが容易

低騒音で低振動。 2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力(良い真空) 逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。 強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。 大気圧からの作動が可能。 内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。

大排気量でコンパクトサイズ。 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 大気圧から作動が可能。 全圧力帯での連続運転が可能。 シンプル構造で、メンテナンスが容易。

大排気量でコンパクトサイズ。 排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 自動復帰型のサーマルプロテクタ内蔵による安全設計。 大気圧からの作業が可能。 シンプル構造で、メンテナンスが容易。

到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ 自動復帰型サーマルプロテクら内蔵による安全設計 大気圧からの作動が可能 シンプル構造で、メンテナンスが容易

ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。