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4ページ目: ULVAC(アルバック)のすべての商品
水晶板 UCRシリーズULVAC(アルバック)￥16,980～税込￥18,678～特価
1組(12枚)
当日出荷から33日以内出荷
熱による影響は小さく、周波数安定性は高い。
成膜中の温度特性に優れる
レート安定性が良いので、より長い時間使用可能
シャッタ開閉時のふらつきや変化(熱衝撃の変化)が小さい
水晶板の入替作業時間を大幅に短縮
CRTMシリーズでの基本性能は確認済み
仕様●発振周波数：6MHz●電極材質：Au(金)●電極表面：標準仕上げ●外径寸法：Φ14●対応成膜コントローラ：CRTMシリーズ全般●用途：メタル膜、光学膜●塔載可能センサ：CRTSシリーズ(シングルセンサ、マルチセンサ)全て●入数：12枚1組アズワン品番67-6870-71
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-60D 1Φ200VULVAC(アルバック)￥189,800税込￥208,780
1台
93日以内出荷
ダイアフラム式のドライ真空ポンプです。
長時間の連続運転に耐え保守も容易です。
仕様●排気速度(L/min)：60/72(50/60Hz)●到達圧力(kPa)：3.32●吸気口径(OD)×(ID)mm：14×9●サーマルプロテクター内蔵●電源：1Φ200V 50/60Hz●サイズ(mm)：156×358×238●重量(kg)：19●接ガス部材質：ポンプヘッド/アルミダイキャスト、吸排気弁/SUS、ダイアフラム/EPDM(エチレンプロピレンゴム)●※アンローダーバルブ(ダイアフラム型ドライ真空ポンプを止めた際、ポンプヘッド内部に大気を素早く導入し、ポンプヘッドと外側の差圧を無くす機構です)を内蔵。●原産国：日本アズワン品番67-4507-12
ピラニ真空計(大気圧型)ULVAC(アルバック)1個
欠品中
大気圧を含む低真空領域(0.05～100000Pa)の測定が可能です。フィラメント材には耐久性に優れた白金(Pt)を採用しています。トランスデューサ型SW1-1は表示器不要でも使用可能です。
仕様●アナログ出力タイプ●測定子加熱上限温度：測定子単体150℃(SW100取り外し時)加熱時は、精度など仕様からの逸脱が認められます。SW100の使用温度範囲は、5℃～40℃です。付属品クイックマニュアル材質測定子フィラメント・白金(Pt)その他：SUS304(SWP-1SはSUS316L/Ra<0.5)、FeNiCo、Ni、Au、 Glass、Ceramic質量(g)約105(SW100単体)使用温度範囲(℃)10～40出力測定値出力電圧：DC0V～10V、圧力指示：DC1.7V～8.0V、log 出力：DC1V/1桁、更新時間：50msec、分解能：3mV、誤差：±3mV、出力インピーダンス：10Ω適合規格CE電源電圧定格電圧値：DC24V電圧変動範囲：DC14V～30VMAX(-42/+25%)(リップル、ノイズ 1%以下)定常時：2.0W電源投入時：4.8W過電圧カテゴリ：カテゴリ1(過渡過電圧を十分低いレベルに制限する対策が取られている回路に接続下さい)ケーブル長(m)測定子：5出力電圧(V)レコーダー：DC0～10 LOG出力端末仕様対応：パソコン：Windows10 64bit 以降スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC24・AC100～240(ACアダプタ使用時)保護等級IP30入力信号制御：zero点/大気圧調整、調整クリア、オープンコレクタ入力で動作、負論理通信方式D-sub15-ピンUSB Type-C(USB Type-CはUL-MOBIによる通信のみに使用できます)測定範囲(Pa)5×10-2～1×105繰返し性1×10-1～1×104Pa：±2%測定精度(%)1×10-1Pa～1×10+4Pa：±105.0×10-2～1.0×10-1Pa、1×10+4Pa～1×10+5Pa：±20表示LEDPOWER/ERROR ： パワー、エラー表示SET-1 ： セットポイント1SET-2 ： セットポイント2測定子接続可能：1本/1pc出力信号制御：センサーエラー、セットポイント1/2、オープンコレクタ出力、負論理定格：30VMAX、50mAMAX、70mWコネクタ入出力：D-sub15-ピンコネクタ(オス)、M2.6mmネジUSB Type-C(USB Type-CはUL-MOBIによる通信のみに使用できます)取付姿勢制限無し保管温度範囲(℃)-20～65(非通電時、結露なきこと)調整方式zero点/大気圧調整、調整クリア圧力表示測定子破壊圧力：2×105 Pa(絶対圧)(フランジやクランプなどの破壊圧力は別途考慮ください)湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
【レンタル】油回転真空ポンプ スーパーデラックスタイプ GLD-137CCULVAC(アルバック)￥3,898～税込￥4,288～
1個
翌日出荷から4日以内出荷
低振動・低騒音です。
質量(kg)29電源単相100-120V/200-240Vサービス分類レンタル
吸引アウトレット付きポータブル吸引源 救引Gen VD-16シリーズULVAC(アルバック)￥199,800税込￥219,780
1個
41日以内出荷から61日以内出荷
「救引Gen」は病院の壁配管吸引設備と同じアウトレットを備えているため、お使いの壁掛式吸引器をそのまま接続することができます。バッテリー内蔵のポータブル設計で、どこにでも持ち運びが可能。貴重な非常用電源を消費しません。患者の移送中などにも利用できますので、災害時だけでなく平時にも活躍します。内臓バッテリーのほか、AC100V(50/60Hz)、自動車用ソケット(DC12V)の電源に対応しています。アウトレットはピン式とシュレーダー式があります。購入時にいずれかをお選びいただけます。軽量でコンパクトです。ハンドルがついているので持ち運びもラクです。バッテリー使用時の作動時間は、一般的な使用時間を十分に満たす約1.5時間です。バッテリーの充電時間は約3時間です。本体の起動はON/OFFボタンを押すだけの簡単操作です。ACアダプターと自動車用ソケットを付属しています。
付属品AC アダプタ、アクセサリーソケット(自動車)コード、取扱説明書消費電力(W)36電源電圧AC100V(50Hz/60Hz)、DC12V(バッテリー、自動車用電源使用時)本体質量(kg)約3寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)200×118×302(P)/305(S)充電時間(時間)バッテリー(目安)：約3バッテリー稼動時間約1.5時間(通常運転 ※バッテリー新品時の目安)最大圧力(kPa)吸引：-87
【レンタル】高真空ダイヤフラム型ドライ真空ポンプ 耐蝕型 1.3A DTC-22シリーズULVAC(アルバック)￥3,898～税込￥4,288～
1台
翌日出荷から4日以内出荷
接ガス部はPTFE(テフロン(R))を使用し、耐蝕性に優れています。
電離真空計(マルチイオンゲージ)ULVAC(アルバック)￥349,800税込￥384,780
1セット
当日出荷
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
材質測定子フィラメント・白金(Pt)質量(g)約280(コントローラ)、80(測定子)種類真空計使用温度範囲(℃)10～50外形寸法(mm)コントローラ部/69×63×90(W×D×H)電圧(V)DC20～28出力測定値出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}適合規格CE表示デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)端末仕様対応：パソコン：Windows10 64bit 以降スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC20～28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下保護等級IP30出力信号制御：センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1Vコネクタ入出力：D-sub15ピン(M2.6ネジ)内容積(cm3)19(センサ)保管温度範囲(℃)-20～65(非通電時、結露なきこと)表示更新時間60msec接続センサー接続可能センサ：マルチイオンゲージセンサ：1本耐圧(Pa)センサ：2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要取合フランジNW25湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
油回転真空ポンプULVAC(アルバック)￥65,980税込￥72,578
1個
7日以内出荷
豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプです。
モーター直結型で小型で大きな排気速度が得られます。
寸法(mm)130×203×159.5質量(kg)4.5電源(V)AC100/40W排気速度(L/min)5/6(50/60Hz)到達圧力(Pa)100吸入口径(Φmm)12保護装置サーマルプロテクタ内蔵(過電流)排気方式1段
スクロール型ドライ真空ポンプ DISLシリーズULVAC(アルバック)￥449,800税込￥494,780
1台
12日以内出荷
接ガス部にベアリングのない高湿ガス対応設計です。
エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止します。
油を使用していないため、クリーンな排気が可能です。
仕様(吸気口径/排気口径(内部メネジサイズ))NW25(内径ネジRc3/8)/NW16(吐出弁付き)材質(接ガス部)吸気管・排気管/ステンレス、スクロール/アルミニウム、Oリング/フッ素ゴム、Pシール/テフロン樹脂質量(kg)17サイズ221×380×218mm電源単相 100/115/200/230V、300W 2P(コンデンサ始動・運転)排気速度(L/min)100/120(50/60Hz)到達圧力(Pa)20アズワン品番1-9199-21定格電流(V)(全負荷)50Hz：2.6/1.3/1.4(100/200/230)、60Hz：2.9/2.8/1.6/1.4(100/115/200/230)処理量(水蒸気)≦100g/日(AF開時)
ドライ真空ポンプ 搖動ピストン型 DOPシリーズULVAC(アルバック)￥269,800税込￥296,780
1台
33日以内出荷
大排気量でコンパクトなサイズです。
特殊樹脂製ピストンリングの上下運動を利用して排気を行う揺動ピストン型ドライポンプです。
油を使用していませんので、クリーンな減圧ができます。
仕様(吸排気管径)Rc1/2質量(kg)23サイズ316×434×231mm電源3Φ200V到達圧力(kPa)12速度(実効排気)400/440(L/min)アズワン品番1-4146-09
メカニカルブースターポンプ排気装置 VMR-050シリーズULVAC(アルバック)￥699,800税込￥769,780
1台
60日以内出荷
メカニカルブースターポンプ・補助ポンプ・配管をコンパクトに一体化させた、小型の高真空排気装置です。
仕様(吸気口)VG-40相当、電気消費量：1.5kVA質量(kg)42到達圧力(Pa)4.0×10^-2ポンプ(メイン)メカニカルブースターポンプ：833L/min(at 100Pa)、(補助)油回転真空ポンプ：200L/min
電離真空計ULVAC(アルバック)￥279,800～税込￥307,780～
1個
22日以内出荷から91日以内出荷
異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実：アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域(1×10+5～1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)
質量(g)約280(コントローラ)、80(測定子)使用温度範囲(℃)10～50出力測定値出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}使用温度範囲ST200-A(10～50℃)適合規格CE精度(測定)1.0×10^-4～3.0×10+0Pa：±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4～1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10^4～1.0×10^5Pa：±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4～1.0×10^4Pa：±10% 1.0×10^4～3.0×10^5Pa：±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)端末仕様対応：パソコン：Windows10 64bit 以降スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC20～28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下保護等級IP30入力信号制御：FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理表示LEDPOWER/ERROR： パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)測定子電離真空計測：ISG1外寸法(mm)ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5出力信号制御：センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1Vコネクタ入出力：D-sub15ピン(M2.6ネジ)保管温度範囲(℃)-20～65(非通電時、結露なきこと)表示更新時間60msec繰返し精度(%)(N2)ST200単体モード：±2耐圧(Pa)センサ：2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
【レンタル】高真空排気装置ULVAC(アルバック)￥4,998～税込￥5,498～
1台ほか
翌日出荷から4日以内出荷
コンパクトで移動が容易です。振動の少ない直結型油回転真空ポンプ(防振ゴム付き)を使用していますので、振動がほとんどありません。取り扱いや保守点検が容易で実験用に適しています。
【レンタル】高真空ダイヤフラム型ドライ真空ポンプULVAC(アルバック)￥4,498～税込￥4,948～
1台ほか
翌日出荷から4日以内出荷
接ガス部はPTFE(テフロン(R))を使用し、耐蝕性に優れています。
全負荷電流(A)2.2/2.3(50/60Hz)
【レンタル】ドライ真空ポンプULVAC(アルバック)￥3,898～税込￥4,288～
1台ほか
翌日出荷から4日以内出荷
ダイアフラム式のドライ真空ポンプです。100V電源で使用でき、長時間の連続運転に耐え保守も容易です。
到達圧力(kPa)21.3付属品クニロン真空ホース6×18(6-544-01)×1本
単相マルチメカニカル ブースターポンプULVAC(アルバック)￥439,800税込￥483,780
1台
60日以内出荷
DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。
マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。
ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。
ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。
用途分析機器、CVD装置に、真空乾燥器、凍結真空乾燥器、Heリークテスト、CO2ガスレーザー、真空脱泡、真空熱処理、液晶注入トラスコ品番129-8772幅(mm)167質量(kg)11高さ(mm)130奥行(mm)410電圧(V)100-120/200-240電源AC到達圧力(Pa)0.04排気速度50m3/h吐出口径VF-40吸込口径VG-40ポンプの種類油回転
ピラニ真空計 ケース付+測定子ULVAC(アルバック)￥109,800税込￥120,780
1式
翌々日出荷
気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。低真空領域(0.4～2700Pa)の測定が可能です。フィラメント材には耐久性に優れた白金(Pt)を採用しています。
仕様測定子仕様：NW16、レコーダー出力：DC0～10mV非線形出力、測定子ケーブル長(m)：5、外寸法(m)：150×134×201付属品電源ケーブル/3m (コントロール一体)、クイックマニュアル/1 部質量(kg)1.4高さ(mm)100奥行(mm)130使用温度範囲10～40電源電圧AC100～240V/10VA精度直線目盛換算フルスケール100%の±3%以内表示アナログ型番GP-1G(ケース付き)/WP-16外形寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)100×130×100測定範囲(Pa)0.4～2700アズワン品番2-081-04真空ゲージあり
油回転真空ポンプ用ULVAC(アルバック)￥37,980～税込￥41,778～
1個
7日以内出荷から43日以内出荷
高効率(IE3)マルチ電圧モータを標準搭載しています。空冷方式のため、冷却水不要です。オイルミストトラップ(TM201・TM401)は排気ガスに含まれる油煙をトラップします。
スクロール型ドライ真空ポンプULVAC(アルバック)￥669,800税込￥736,780
1個
60日以内出荷
接ガス部にベアリングのない高湿ガス対応設計です。水蒸気吸引と連続大気開放運転が可能です。エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止します。
電圧(V)(50Hz)200/380/400/415、(60Hz)200/220/230/460電源AC到達圧力(Pa)30排気速度(50/60Hz)(L/min)433/516吐出口径KF-25アズワン品番1-9199-22吸込口径KF-25(Rc1/2)ポンプの種類ドライドライポンプ種類スクロール形
高真空ドライ真空ポンプULVAC(アルバック)￥249,800税込￥274,780
1個
当日出荷
DTU-20型は接ガス部にPTFEを採用した耐食タイプです。
寸法(mm)161×327×218質量(kg)7.5電源AC100V・50/60Hz到達圧力(Pa)200排気速度(50/60Hz)(L/min)20/23吸・排気管径(Φmm)(口径)外径10(Rc1/8)
ダイアフラム型ドライ真空ポンプULVAC(アルバック)￥65,980税込￥72,578
1台
当日出荷から翌々日出荷
用途医療機器、産業機器に仕様ロック保護・過電流保護機能付幅(mm)83.5質量(kg)1.75高さ(mm)123.8奥行(mm)165電圧(V)24電源DC騒音値(dB(A))(50/60Hz)-吐出口径Rc1/8吸込口径Rc1/8ポンプの種類ドライドライポンプ種類ダイヤフラム形
高真空タイアフラムポンプULVAC(アルバック)￥539,800税込￥593,780
1個
3日以内出荷
電圧(V)100電源AC到達圧力(Pa)100吐出口径サイレンサ付アズワン品番1-9483-15吸込口径KF-16ポンプの種類ドライドライポンプ種類ダイヤフラム形
ピラニ真空計ULVAC(アルバック)￥199,800～税込￥219,780～
1個
24日以内出荷から63日以内出荷
仕様●セットポイント：3点付属品入力コネクタ：1個、電源コード：3m×1本、クイックマニュアル：1部質量(kg)コントロール：1.0種類真空計使用温度範囲(℃)10～40電圧(V)AC100～240適合規格CEアナログ出力DC0～10V リニア出力(103/102Pa f.s.)擬似LOG出力 (各レンジ1V)通信方式RS-232Cデジタル出力BCD測定範囲(Pa)0.4～2700測定精度(%)±50圧力表示LCD
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ(DTU)ULVAC(アルバック)￥249,800税込￥274,780
1個
4日以内出荷
トラスコ品番398-1584電圧(V)100電源AC到達圧力(Pa)200排気速度(50/60Hz)(L/min)20/23吐出口径O.D.Φ10mm×I.D.Φ6mm(Rc1/8)アズワン品番1-9198-01吸込口径O.D.Φ10mm×I.D.Φ6mm(Rc1/8)ポンプの種類ドライドライポンプ種類ダイヤフラム形
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ケミカルタイプ(組込型)ULVAC(アルバック)￥179,800税込￥197,780
1台
15日以内出荷
有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプのケミカルタイプ
自動復帰型のサーマルプロテクタ内蔵による安全設計
大気圧からの作動が可能
シンプル構造で、メンテナンスが容易
質量(kg)7電圧(V)100電源AC到達圧力(Pa)0.001排気速度(50/60Hz)(L/min)20/24全負荷電流(A)50Hz/5.1、60Hz/6寸法(幅W×長さL×高さH)(mm)124×242×184使用電動機単相、100V、400W、4P、コンデンサ運転吐出口径O.D.Φ9mm×I.D.Φ6mm (G 1/4)吸込口径O.D.Φ9mm×I.D.Φ6mm (G 1/4)ポンプの種類ドライドライポンプ種類ダイヤフラム形
小型オイルフィルトレーションシステムULVAC(アルバック)￥208,980～税込￥229,878～
1台
翌々日出荷
各種真空装置に用いられる油回転し空ポンプ専用のオイルフィルトレーション装置です。
使用しているエレメントは、水分・Ⅲ・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。
真空ポンプとポンプ油を長期にわたって清浄に保ち、真空ポンプの故障、オイル交換の低減をはかることが可能になります。
直結型油回転真空ポンプULVAC(アルバック)￥289,800税込￥318,780
1台
当日出荷
低騒音で低振動。
2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力(良い真空)
逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。
強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。
大気圧からの作動が可能。
内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。
トラスコ品番850-9596幅(mm)181質量(kg)34高さ(mm)269奥行(mm)536電圧(V)200-240/380-460電源AC到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7排気速度(50/60Hz)(L/min)280/336全負荷電流(A)【50Hz】3.6(200V)、3.7(220V)、4(230V)、4.2(240V)、2.1(380V)、2.3(400V)、2.4(415V)、【60Hz】3.3(200V)、3.2(220、230、240V)、1.9(380、400、440V)、2(460V)使用電動機3相、200-240V/380-460V、750W、4P油量(mL)700～1100使用油R-7吸込口径KF-25ポンプの種類油回転
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 加圧専用タイプULVAC(アルバック)￥89,980税込￥98,978
1台
20日以内出荷
大排気量でコンパクトサイズ。
排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
自動復帰型のサーマルプロテクタ内蔵による安全設計。
大気圧からの作業が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
仕様加圧専用トラスコ品番850-9584幅(mm)168.5質量(kg)9高さ(mm)181奥行(mm)288電圧(V)100電源AC排気速度(50/60Hz)(L/min)80/84全負荷電流(A)5/5.5(50/60Hz)使用電動機単相、100V、300W、4P、コンデンサ運転吐出口径O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4)吸込口径O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4)ポンプの種類ドライドライポンプ種類ピストン形
ダイアフラム型ドライ真空ポンプULVAC(アルバック)￥479,800～税込￥527,780～
1台
30日以内出荷
到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ
自動復帰型サーマルプロテクら内蔵による安全設計
大気圧からの作動が可能
シンプル構造で、メンテナンスが容易
ポンプの種類ドライドライポンプ種類ダイヤフラム形
ダイアフラム型ドライ真空ポンプULVAC(アルバック)￥369,800税込￥406,780
1台
翌々日出荷
ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。仕様サーマルプロテクタ付幅(mm)388質量(kg)37高さ(mm)274奥行(mm)523.6電圧(V)200電源AC吐出口径O.D.Φ21mm×I.D.Φ15mm(G1/2)吸込口径O.D.Φ21mm×I.D.Φ15mm(G1/2)ポンプの種類ドライドライポンプ種類ダイヤフラム形
