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大気圧から高真空領域の測定が可能です。
仕様●接続測定ユニット台数：1台●接続測定ユニット：SW100-A、SP1、ST200-A、SH200-A、SC1、CCMT●セットポイント：3点●表示方法：LEDディスプレイ●適応装置：G-TRANシリーズの真空計を使い圧力表示を必要とする真空装置
種類真空計
外形寸法(mm)DIN48×70×96
電圧(V)DC24±1
出力測定値出力：DC0-10V
適合規格CE
表示デジタル表示、仮数部2桁指数部1桁
サンプリング70ms
アズワン品番3-6054-11
1個
￥83,980
税込￥92,378
当日出荷
ユーザビリティ向上：パソコン / スマートフォン接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能です。大気圧から低真空領域(0.05～100000Pa)の測定が可能です。気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。フィラメントには耐久性に富んだ白金を採用しています。JCSS校正も可能です。
用途太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空測定に。真空炉をはじめとする各種産業機器の低真空測定に。大気圧からの広帯域の真空測定に。各種分析装置
トラスコ品番560-8176
セット内容SW100/SWP16、表示器ISG1、測定子ケーブル5m、電源ケーブル3m(SW100-ISG1-100Vのみ)
材質測定子フィラメント・白金(Pt)
フランジ取合い：NW16
電源電圧(V)AC100～240
測定圧力0.05～100000(Pa)
測定子SWP-16
1セット
￥189,800
税込￥208,780
当日出荷
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
材質測定子フィラメント・白金(Pt)
種類真空計
電圧(V)DC20～28
出力DC0-10V
表示デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)
電源電圧(V)100～240
取合フランジNW25
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。大気圧から高真空領域(1×10^+5～1×10^-8Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。
用途半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に。インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に。高真空・超高真空装置の圧力測定に。
トラスコ品番353-7438
セット内容SH200-A、SWU10-R、SH200用測定子M44、SWU10-R専用測定子SWP-16
材質測定子フィラメント・白金(Pt)
電源電圧(V)100～240
測定子M-44(NW-16)/SWP-16
取合フランジNW16
圧力測定範囲(Pa)1×10[[の5乗]]～1×10[[の-8乗]]
1セット
￥339,800
税込￥373,780
59日以内出荷
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。大気圧から高真空領域(1×10[[の5乗]]～1×10[[の-5乗]]Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。
用途有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に。真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に。ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に。真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に。真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に。
トラスコ品番353-7437
セット内容ST200-A、SWU10-R、ST200用測定子SWT-16、SWU10-R専用測定子SWP-16
材質測定子フィラメント：白金(Pt)
電源電圧(V)100～240
測定子SWT-16/SWP-16
取合フランジNW16
圧力測定範囲(Pa)1×10[[の5乗]]～1×10[[の-5乗]]
1セット
￥339,800
税込￥373,780
59日以内出荷
異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実：アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域(1×10+5～1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)
仕様SWT-16(NW16)・SWT-25(NE25)、ピラニ真空計(0.5mケーブル付き)、大気圧センサ(0.5mケーブル付き)
出力(測定値)出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁
使用温度範囲ST200-A(10～50℃)
精度(測定)1.0×10^-4～3.0×10+0Pa：±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4～1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10^4～1.0×10^5Pa：±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4～1.0×10^4Pa：±10% 1.0×10^4～3.0×10^5Pa：±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)
表示器SWU10-R
測定子電離真空計測：ISG1、ピラニ測：SAU(NW16)
外寸法(mm)ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5
大気圧を含む低真空領域(0.05～100000Pa)の測定が可能です。フィラメント材には耐久性に優れた白金(Pt)を採用しています。トランスデューサ型SW1-1は表示器不要でも使用可能です。
ケーブル長(m)測定子：5
出力電圧(V)レコーダー：DC0～10 LOG出力
電源電圧(V)DC24・AC100～240(ACアダプタ使用時)
測定子接続可能：1本/1pc
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