ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
用途計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無、同心度:30μm
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
種類回転ステージ
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
面振れ(mm)0.02
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
ロストモーション(°)0.05
バックラッシ(°)0.08
原点センサ無
真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
種類回転ステージ
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
電源電圧(V)DC5~24±10%
消費電流(mA)15以下
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
移動ガイドベアリング方式
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
ロストモーション(°)0.05
原点センサ無
手動操作、メモリ設定などを行うために必要です。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無
適合FINE-01y、FINE-503
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
耐荷重(N)196
RoHS指令(10物質対応)対応
位置決め精度(°)0.1
原点センサ無
1個
¥12,980
税込¥14,278
当日出荷
高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。
上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。
種類Zステージ
送り方式送りネジ
移動ガイドアウターレール構造
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
ロングストローク対応のステッピング駆動対物レンズアクチュエータです。ステッピングモータを使用しているので、同社の各種コントローラに接続可能です。小型、高分解能のため顕微鏡筒やオートフォーカスシステムへの組込みに最適です。正立型、倒立型顕微鏡でご使用になれます。各メーカーの顕微鏡及び対物レンズのネジサイズに合わせ、専用アダプタ(品番:OBL-ADP3-M***)をご用意しています。※顕微鏡及び対物レンズへの取付は専用アダプタが必要になります。
仕様【<対物レンズ用アクチュエータ>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.35A/相(オリエンタルモータ(株))、モータ品番:PK513PA-C21(□20mm)、モータステップ角度:0.72°、センサ電源電圧:DC+5V~+24V±10%、センサ消費電力:40mA以下(1センサあたり20mA)、センサ制御出力:NPNオープンコレクタ出力 50mA、センサ出力論理:遮光時 : 出力トランジスタOFF(非導通)、適応ドライバ:SG-5MA、SG-55MA、SG-514MSC、適応コントローラ:GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、【個別仕様】移動量:3mm、テーブル面サイズ:アダプタ取付、送りネジ:精密研削ネジ径Φ6mm、リード0.5mm、移動ガイド:クロスローラガイド、ステージ上面材質:アルミ、表面処理:白アルマイト、質量:0.4kg、分解能(Full):1μm/パルス、分解能(Half):0.5μm/パルス、MAXスピード:1mm/sec、位置決め精度:5μm、繰返し位置決め精度:2μm、耐荷重:4.9N(0.5kgf)、モーメント剛性:-、ロストモーション:2μm、バックラッシ:1μm、平行度:-、走り平行度:2μm、ピッチング:15″、ヨーイング:15″、センサ品番:フォトマイクロセンサ: GP1S092HCPI(シャープ株式会社)、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、原点センサ:無、近接原点センサ:無
アズワン品番61-6985-15
1個
¥299,800
税込¥329,780
13日以内出荷
半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
ボールネジとボールガイドを採用した、高精度・耐久性に優れた自動直動ステージです。
本体にガイドを施し、精密研削ネジを使用した低価格な自動ステージです。
仕様【<ステッピングモータ駆動小型自動ステージ ステージサイズ□40/□60mm>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.35A/相(オリエンタルモータ(株))、モータ品番:PK513PB-C9(□20mm)、モータステップ角度:0.72°、センサ電源電圧:DC5~24V±10%、センサ消費電力:TSDM40-15X:40mA以下(1センサ当たり20mA以下)、TSDM60-20X:30mA以下(1センサ当たり15mA以下)、センサ制御出力:NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下、センサ出力論理:遮光時:出力トランジスタOFF(非導通)、適応ドライバ:SG-5MA、SG-55MA、SG-514MSC、適応コントローラ:PAT-001、GSC-01、SHOT-102、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、【個別仕様】移動量:15mm、テーブル面サイズ:40×40mm、送りネジ:精密研削ネジΦ5mm、リード0.5mm、移動ガイド:ボールガイド、ステージ材質:鉄、表面処理:スーパーブラッククロム、質量:0.35kg、分解能(Full):1μm/パルス、分解能(Half):0.5μm/パルス、MAXスピード:5mm/sec、位置決め精度:20μm、繰返し位置決め精度:10μm、耐荷重:29.4N(3.0kgf)、モーメント剛性/ピッチング:0.4″/N・cm、モーメント剛性/ヨーイング:0.4″/N・cm、モーメント剛性/ローリング:0.4″/N・cm、ロストモーション:10μm、バックラッシ:10μm、平行度:50μm、走り平行度:10μm、ピッチング:20″、ヨーイング:20″、センサ品番:マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPI(シャープ株式会社)、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、原点センサ:無、近接原点センサ:無
アズワン品番61-6985-49
1個
¥62,980
税込¥69,278
12日以内出荷
専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。
専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。
クロスローラガイドを使用したステッピングモータ駆動の自動ゴニオステージです。
耐摩耗性に優れたクロスローラガイドを採用した高剛性のゴニオステージです。
テーブル面から回転中心の高さを75mm/100mm/130mmをご用意しており、用途に合わせてご選定いただけます。
仕様(MIXスピード)6°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無
材質(ステージ)アルミ
種類傾斜ステージ
表面処理(ステージ)黒アルマイト
耐荷重(N)24.5
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームとウォームホイール
移動ガイドクロスローラ
位置決め精度(°)±0.004
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
原点センサ無
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。
真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
クロスローラガイドを使用したステッピングモータ駆動の自動ゴニオステージです。
耐摩耗性に優れたクロスローラガイドを採用した高剛性のゴニオステージです。
テーブル面から回転中心の高さを75mm/100mmをご用意しており、用途に合わせてご選定いただけます。
仕様(MIXスピード)6°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無
材質(ステージ)アルミ
種類傾斜ステージ
表面処理(ステージ)黒アルマイト
耐荷重(N)19.1
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームとウォームホイール
移動ガイドクロスローラ
位置決め精度(°)<±0.004
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
原点センサ無
関連キーワード