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粗微動切替えクランプを緩めることで全周360°の粗動回転が、粗微動切替えクランプを締めればマイクロメータヘッドおよびネジ式により、その位置から±5°の微調整ができます。
ステージ中央に貫通穴があいているため、透過用としてご利用いただけます。
材質真鍮
ストローク粗360°微±5°(回転)
精度0.02/0.02(同芯度/面振れ)(回転)
表面処理スーパーブラッククローム
RoHS
ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ：無
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
種類回転ステージ
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
電源電圧(V)DC5～24±10%
消費電流(mA)15以下
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
移動ガイドベアリング方式
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
ロストモーション(°)0.05
原点センサ無
ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
用途計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ：無、同心度：30μm
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
種類回転ステージ
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
面振れ(mm)0.02
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
ロストモーション(°)0.05
バックラッシ(°)0.08
原点センサ無
真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
上面のハンドルを回すことで360°(粗動)回転させることが出来ます。ステージ本体に、アルミを採用し軽量化にも最適です。
仕様【<θ軸粗動ステージ>共通仕様】移動ガイド:すり合わせ方式、主要材質：アルミ、表面処理：黒アルマイト、【個別仕様】テーブル面サイズ:Φ60mm、回転範囲：360°、目盛最小読取：1°、1回転の移動量：-、移動ガイド：すり合わせ方式、主要材質：アルミ、表面処理：黒アルマイト、耐荷重：68.6N(7.0kgf)、許容モーメント荷重：-、モーメント剛性：1.5″/N・cm、平行度：50μm、偏芯量：20μm、面振れ量：20μm、質量：0.19kg
アズワン品番61-6978-05
1個
￥16,980
税込￥18,678
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粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式のθ軸(回転)粗微動ステージです。
突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用XYZ軸ステージです。
テーブル面上の試料を、任意の角度に傾き調整やあおり調整をするための傾斜・回転ステージです。小型であり薄型であるため、制約のあるスペースや光学系を小さく使用したい場合に有効です。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
種類xyzステージ
移動ガイドボールガイド
テーブル幅(mm)40
テーブル長さ(mm)40
ストローク(X距離)(mm)6.5
ストローク(Y距離)(mm)6.5
ストローク(Z距離)(mm)3
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式を使用した動作頻度が少なく微細な調整用途に適したXYZ軸ステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
ウォームギアで駆動させるため360°にわたり精密な調整が可能な回転ステージです。
アリ溝ガイド・ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式の透過用θ軸(回転)粗微動ステージです。
粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式のθ軸(回転)粗微動ステージです。
ステージ厚さ10mmを実現した角型の透過穴付θ軸(回転)ステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式の透過用θ軸(回転)粗微動ステージです。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
クロスローラガイドのXY軸ステージと垂直タイプのZ軸ステージを組合せたステージです。
種類xyzステージ
耐荷重(N)49
送り方式マイクロメータ
移動ガイドクロスローラ
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
4軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ・Z軸フラットスチールステージ・θ軸粗微動ステージを組合せたものです。
6軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ、Z軸フラットスチールステージ、θ軸粗微動ステージ、αβ軸小型ゴニオステージ、αβ軸ゴニオステージを組合せたものです。
3軸方向の微調整用精密ステージです。θ軸(回転)ステージを最上部に配置しているため、XY軸ステージにて心出し(例えば顕微鏡の目盛板との心出し調整)調整後、同心上でサンプルなどを回転させることができます。
半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
X軸ロングスチールステージ(TSD-40801S)を□60ステージや□40ステージに取り付けるためのスペーサーです。Φ60回転ステージ(KSP-606、KSPT-606)やΦ40回転ステージ(KSP-406、KSPT-406)にも固定できます。TSD-40801シリーズのXY組付け用にも使用できます。
仕様【<変換スペーサー (SP-301)>共通仕様】主要素材:アルミ、表面処理：黒アルマイト
アズワン品番61-6965-89
1個
￥3,498
税込￥3,848
13日以内出荷
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