お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。X軸セット/手軽に直進1方向の自動位置決めとJOG駆動を行うことができます。XY軸セット/XY軸自動アライメント、パソコン無しでプログラム運転が可能です。XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。XYZ軸セット/計測・検査装置やワークのXYZ軸自動位置決め用途に最適です。
5相ステッピングモータドライバを内蔵した1軸のステージコントローラです。
RS232Cインターフェイスによる外部制御と、フロントパネルのジョグスイッチ、外部I/Oによるジョグ駆動が可能です
質量(kg)0.4
電源電圧(V)DC24、1.3A
外形寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)47×90×125
保存温度(℃)-20~60
消費電力(VA)32
周囲湿度(%RH)20~80
動作温度(℃)5~40
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥33,980
税込¥37,378
当日出荷
ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
種類回転ステージ
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
電源電圧(V)DC5~24±10%
消費電流(mA)15以下
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
移動ガイドベアリング方式
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
ロストモーション(°)0.05
原点センサ無
真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。
リニアスケールで使用する製品は、半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、プリント配線板などの電子デバイス製造装置、電子部品実装機、工作機械、搬送機械などが主となっており、多くに分野で欠かせない工程をになう装置に使用されています。
用途プリント配線板などの電子デバイス製造装置、電子部品実装機、工作機械、搬送機械
種類Xステージ
分解能4μm/パルス(Full)・2μm/パルス(Half)
耐荷重(N)392
RoHS指令(10物質対応)対応
移動ガイドクロスローラ
テーブル長さ(mm)165
高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。
上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。
種類Zステージ
送り方式送りネジ
移動ガイドアウターレール構造
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
本体にガイドを施し、精密研削ネジを使用した低価格な自動ステージです。
仕様【<ステッピングモータ駆動小型自動ステージ ステージサイズ□40/□60mm>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.35A/相(オリエンタルモータ(株))、モータ品番:PK513PB-C9(□20mm)、モータステップ角度:0.72°、センサ電源電圧:DC5~24V±10%、センサ消費電力:TSDM40-15X:40mA以下(1センサ当たり20mA以下)、TSDM60-20X:30mA以下(1センサ当たり15mA以下)、センサ制御出力:NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下、センサ出力論理:遮光時:出力トランジスタOFF(非導通)、適応ドライバ:SG-5MA、SG-55MA、SG-514MSC、適応コントローラ:PAT-001、GSC-01、SHOT-102、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、【個別仕様】移動量:15mm、テーブル面サイズ:40×40mm、送りネジ:精密研削ネジΦ5mm、リード0.5mm、移動ガイド:ボールガイド、ステージ材質:鉄、表面処理:スーパーブラッククロム、質量:0.35kg、分解能(Full):1μm/パルス、分解能(Half):0.5μm/パルス、MAXスピード:5mm/sec、位置決め精度:20μm、繰返し位置決め精度:10μm、耐荷重:29.4N(3.0kgf)、モーメント剛性/ピッチング:0.4″/N・cm、モーメント剛性/ヨーイング:0.4″/N・cm、モーメント剛性/ローリング:0.4″/N・cm、ロストモーション:10μm、バックラッシ:10μm、平行度:50μm、走り平行度:10μm、ピッチング:20″、ヨーイング:20″、センサ品番:マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPI(シャープ株式会社)、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、原点センサ:無、近接原点センサ:無
アズワン品番61-6985-49
1個
¥62,980
税込¥69,278
12日以内出荷
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
用途計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無、同心度:30μm
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
種類回転ステージ
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
面振れ(mm)0.02
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
ロストモーション(°)0.05
バックラッシ(°)0.08
原点センサ無
真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
1個
¥13,980
税込¥15,378
9日以内出荷
各種ドライバです。
仕様品名:小型ドライバ、駆動モータ:5相ステッピングモータ、駆動方式:バイポーラペンタゴン定電流駆動方式、駆動電流:0.5~1.4A/相、励磁方式:フル/ハーフステップ、分割数:2種類(1,2)、入力信号:1クロック入力方式、2クロック入力方式、入力論理:フォトカプラ入力、最高応答周波数:50kpps、自動カレントダウンOFF入力:無、モータ励磁OFF入力:有、マイクロステップ選択入力:無、原点励磁タイミング出力:無、入力電源:DC20~40V 3A Max、使用温度範囲:0~40℃、外形寸法:W77×H32×D45mm、質量:0.1kg
アズワン品番61-6998-76
1個
¥15,980
税込¥17,578
12日以内出荷
自動ステージとコントローラまたはドライバ間の接続ケーブルです
RoHS指令(10物質対応)対応
手動操作、メモリ設定などを行うために必要です。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無
適合FINE-01y、FINE-503
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
耐荷重(N)196
RoHS指令(10物質対応)対応
位置決め精度(°)0.1
原点センサ無
1個
¥12,980
税込¥14,278
当日出荷
スケール内蔵自動ステージ専用のケーブルや通信用のケーブルです。
ケーブル長(m)2
RoHS指令(10物質対応)対応
1本
¥18,980
税込¥20,878
4日以内出荷
自動ステージとコントローラまたはドライバ間の接続ケーブルです
RoHS指令(10物質対応)対応
小型高性能ステッピングモータと精密研削ネジを組合せた低価格のアクチュエータです。
手動ステージに使用しているマイクロメーターヘッドの取り付け部分と互換性を持った製品です。
手動ステージ、ホルダーなどに使用している粗粗微動マイクロメーターヘッドです。
仕様【<粗微動マイクロメータヘッド>共通仕様】主要材質:アルミ、表面処理:黒アルマイト、【個別仕様】移動量(粗動):0~13mm、移動量(微動):0~0.2mm、最小読取(粗動):0.01mm、最小読取(微動):0.0005mm、移動量/1回転(粗動):0.5mm、移動量/1回転(微動):0.025mm、許容荷重(静荷重):9.8N(1kgf)、質量:0.1kg
手動ステージ、ホルダーなどに使用している移動量15mm以下のマイクロメーターヘッドです。
クロスローラガイドを使用したステッピングモータ駆動の自動ゴニオステージです。
耐摩耗性に優れたクロスローラガイドを採用した高剛性のゴニオステージです。
テーブル面から回転中心の高さを75mm/100mm/130mmをご用意しており、用途に合わせてご選定いただけます。
仕様(MIXスピード)6°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無
材質(ステージ)アルミ
種類傾斜ステージ
表面処理(ステージ)黒アルマイト
耐荷重(N)24.5
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームとウォームホイール
移動ガイドクロスローラ
位置決め精度(°)±0.004
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
原点センサ無
質量(kg)0.1
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥19,980
税込¥21,978
当日出荷
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